软印刷技术

软印刷技术是基于弹性体印章/模具来转移图形结构的微纳加工技术。详细介绍了软印刷技术中转移图形结构的多种方式,并探讨软印刷技术在微纳电子学、光学、传感器、生物等领域的广泛应用。对软印刷技术的弹性体印章/模具制备、聚二甲基硅氧烷的属性、理论研究等进行了探讨。     

基于AFM的微结构加工实验研究

本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统，在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验，与SPI系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析，得出这个系统适合微结构的加工；并给出了采用该方法加工的1111面及多边形面微结构；还分析了金刚石针尖几何角度及SPM和工作台的相关参数对加工的影响。     

激光核聚变靶表面几何参数扫描探针测量技术

应用改造的原子力显微镜（AFM）作为传感系统，配合精密回转气浮轴系和三维微定位装置，实现了对激光核聚变靶球圆周方位形状误差的精密测量。采用该测量技术获得的靶球表面几何参数的测量数据及分析结果可为制靶工艺提供检测手段，并为激光打靶实验提供准确的靶球表面形貌参数。     

Atomic scale imaging of monocrystalline Si （001） surface by molecular dynamic simulation

Non-contact atomic force microscopy(nc-AFM) atomic-scale imaging process of monocrystalline silicon surface using capped single-wall carbon nanotube tip is simulated by molecular dynamic method. The simulation results show that the nc-AFM imaging force mainly comes from the C-Si and C-C chemical covalent bonding forces, especially the former, the nonbonding Van der Waals force change is small during the range of stable imaging height. When the tip-surface distance is smaller than the stable imaging height, several neighboring carbon atoms at the tip apex are attracted, and some of them jump onto the sample surface. Finally the tip apex configuration is destroyed with the tip indenting further.     

微细电极精密车削技术

对微细电极的精密车削工艺进行了研究，用人造金刚石刀具，加工出直径φ7μm的微细电极，用车削的φ11μm微细电极成功地加工出φ19μm的微细孔。研究结果表明，在微细电极的加工中，切削用量不仅对电极表面质量产生影响，而且关系到能否车削成功。     

石英基片双面抛光加工的研究

文中介绍采用二氧化硅微粉和锡抛光盘的行星式双面抛光法,在抛光压力100～300g/cm~2。抛光液浓度5～10wt%,抛光盘转速75～90rpm下,抛光石英基片,既可获得好的表面质量,又可保证有较高的抛光效率。     

Sn对ZrTiNiCuAl非晶合金玻璃形成能力的影响

研究了固溶元素Sn掺杂对Zr52.5Ti5Ni14.6Cu17.9Al10非晶合金玻璃形成能力（GFA）的影响，结果发现，掺杂不同含量的Sn会使玻璃化温度Tg,晶化温度Tx不同程度地向高温移动，但对合金熔化温度Tm温度不大。当Sn的摩尔分数为1．86％时，合金玻璃化温度Tg提高了17℃，晶化温度Tx提高了36℃，从而使△Tx提高了19℃，玻璃化温度与合金熔点温度的比值Trg由0.63提高到0.65分析了Sn元素对Tg,Tx及玻璃形成能力的影响。     

金刚石刀具的研磨工艺参数模型

本文基于二次回归分析的试验方法，对分别以（110）和（1130）晶面为刀具前、后刀面的金刚石刀具进行了研磨工艺实验，建：立了对应的研磨工艺参数模型，该模型可以用于预报研磨所能得到的刃口半径值以及计算对应丁特定刃口半径值的参数组合；通过比较一次回归项系数，得到了研磨方向、研磨速率、研磨压力及磨粉粒度对刃口半径值的影响因子，分别为：0．282，0．082，0．121及0．515；利用单一因素分析分别画出了研磨方向、研磨速率、研磨压力及磨料粒度与刃口半径值的关系曲线；以最小刃口半径值为目标，使用多元分析方法，获得了最优研磨参数组合，试验验证结果与计算值相符。     

一株DEP降解菌的筛选及其休止细胞的降解特性

从杭州市河道污水出口的淤泥中筛选到一株邻苯二甲酸二乙酯(DEP)降解菌HZ3,研究了该菌株的休止细胞对DEP的降解特性,结果表明:该休止细胞浓度为2×108～6×108 cpu/mL,pH7.0,30℃,180r/min条件下,可在6h内将118mg/L的DEP完全降解,37℃下的降解效率也无明显差异,加入0.01g/L Tween-80则对降解效率产生了一定的抑制.休止细胞对118～1 436mg/L的DEP表现出较高的降解能力,而生长细胞则对1 062mg/L的DEP无降解能力.     

基于原子力显微镜的纳米三维刻划加工控制系统

介绍了一套新型的纳米三维刻划加工控制系统,系统基于AFM原子力显微镜,配合三维微动工作台,设计开发了专门的加工控制装置,成功的实现了纳米刻划加工中的深度控制问题,可实现在X、Y、Z方向分别为100μm×100μm×20μm范围内,X、Y向精度为±5 nm、Z向精度为±10 nm的三维结构机械刻划加工,应用结果表明,该系统实现了具有在位形貌检测功能的三维纳米刻划加工,在微纳米刻划加工领域具有一定的实用性和推广价值。