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1.
本文对Ti/Mo/Ti/Au作为栅金属的GaAsMESFET进行了四种不同的应力试验:1.高温反偏(HTRB);2.高压反偏(HRB);3.高温正向大电流(HFGC);4.高温存贮(HTS).通过HRB,ΦB从0.64eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大.HTS试验中ΦB从0.67eV增加到0.69eV.分析表明,这归因于界面氧化层的消失,以及Ti与GaAs的反应;HFGC试验结果表明其主要的失效模式为烧毁,SEM观察中有电徙动及断栅现象发生.AES分析表明。应力试验后的样品,肖特基势垒接触界面模糊 相似文献
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对Ti/Mo/Ti/Au作为栅金属的GaAsMESFET进行了高温反偏(HTRB)、高压反偏(HRB)、高温正向大电流(HFGC)、高温存贮(HTS)4种不同的应力试验。通过HRB,φb从0.64eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大,HTS试验中φb从0.67eV增加到0.69eV。分析表明,这归因于界面氧化层的消失,以及Ti与GaAs的反应;HFGC试验结果表明,其主要的失效模式为烧毁,同时,SEM观察中也有电徙动及断栅现象发生。AES分析表明,应力试验后的样品,其肖特基势垒接触界面出现模糊,有明显的互扩散和反应发生。 相似文献
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本文对传统的捻陷和阻捻概念进行了深入分析,认为捻陷才是真正起阻捻作用的。在此基础上提出可正确评价捻陷和阻捻阻程度的指标系数,阻捻系数和增捻系数,在对假捻的特点进行深入分析的基础上,指出传统的捻陷和阻捻实质上就是假捻,其捻陷和阻捻点是假捻点,产生捻陷和阻捻的阻力矩就是假捻力矩,因此,可用分析假捻的方法分析传统的捻陷和阻捻。从而可简化对各种加捻现象的分析。 相似文献
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具有TiN扩散阻挡层的n-GaAs欧姆接触的可靠性 总被引:2,自引:2,他引:0
提出了金属 -半导体欧姆接触退化的快速评估方法——温度斜坡快速评价法 ,并建立了自动评估系统 ,用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能 ,和传统方法相比 ,耗时少 ,所需样品少 ,所得结果和传统方法一致 .针对传统 Au Ge Ni/Au欧姆接触系统的缺点 ,提出了加 Ti N扩散阻挡层的新型欧姆接触系统 .实验表明新型欧姆接触系统的可靠性远远优于传统 Au Ge Ni/Au欧姆接触系统 . 相似文献
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采用电流斜坡法测试了4种不同金属化样品,其n值分别为:2.29(Al-Si合金膜),1.25(Al-Si-Cu合金膜),1.28(Al-Si/Ti双层金属化),1.23(Al/TiWTi/Al多层金属化).结果表明,n值与材料有关,电迁徙阻力越高n值越小,与BLACK方程相符。同时,考察了不同温度和不同电流上升斜率对n值测量结果的影响,试验表明,在相当宽的温度范围和测试时间内获得的n值一致性很好。 相似文献