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采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构,设计并研制成功了60路CCD多路开关动态范围≥50dB,转移效率≥99.99%;非均匀性±5%;最小输入5mV;最大输入信号2V;输入积累时间134μs;串行移出时间2μs;输出幅度≥2V。文章阐述该器件的结构、工作原理、特点、用途、器件参数分析及影响器件因素和专项工艺研究。 相似文献
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硅基红外信平面阵列技术的新进展(Ⅱ) 总被引:2,自引:0,他引:2
主要介绍以硅为衬底的PbS,PbSe,PbTe,PbSnSe,HgCdTe,InSb等红外探测器焦平面阵列的新进展。 相似文献
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热壁LPCVD设备使用中几个问题的探讨 总被引:1,自引:1,他引:0
程开富 《电子工业专用设备》1996,25(2):30-32
文章就热壁LPCVD设备使用过程中出现的几个问题作了较全面的分析,提出了一些解决办法,并就设备易出现的故障及维护谈一点体会。 相似文献
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本文全面深入地介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列(PtSi-SBIRFPA)的技术进展及市场前景.从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi单片式红外焦平面陈列(PtSi-MIRFPA)与InSb和HgCdTe混合式红外焦平面阵列(InSb和HgCdTeHIRFPA)技术作了详细的比较,评述了PtSi-MIRFPA技术的发展现状和面临的现实,分析了PtSi-MIRFPA技术的应用范围,目前的市场状况和今后的技术前景。 相似文献
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面向21世纪的纳米电子/纳米光电子技术 总被引:4,自引:0,他引:4
引言 信息社会对集成电路的集成度要求越来越高,促使人们不断探索能够突破器件尺寸极限的途径。纳米电子学和纳米光电子学在此背景下应运而生。 纳米电子学 1.纳米电子学的基本概念 相似文献
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