微机械技术发展现状

介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义，主要技术内容和当前国内外研究发展２。     

蠕动式压电/电致伸缩直线电机钳位机构设计

提出一种用于微进给压电／电致伸缩直线电机的弹性夹紧钳位机构。该机构采用柔性铰链和径向分布式杠杆构成力放大机构,实现对主轴的钳位与松位作用。本文在分析计算单槽半圆柔性铰链转角刚度、夹紧机构的力放大系数的基础上,讨论钳位机构与主轴之间的初始间隙、柔性铰链转角刚度以及杠杆机构的分布组数等因素对夹紧力的影响。该钳位机构可有效地降低钳位致动电压和机械配合精度,提高压电／电致伸缩直线电机的承载能力。     

加速度传感器的动态特性软件补偿方法研究

本文提出了一种加速度传感器动态测量误差的软件补偿方法,其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数,构造出一个软件的补偿算法,这个算法的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消,从而使加速度传感器的输出信号经过运算后其动态误差得到补偿,扩展了加速度传感器的使用频带。     

一种用于微小流量测量的热线式流量传感器的研究

本文介绍了一种用于微小流量测量的热线式流量传感器，它利用热敏电阻作为发热元件和温度敏感元件。文中介绍了使用热敏电阻测量微小流量的方法，分析了它的基本工作原理，并给出了此种传感器进行流量测量的实验结果。实践证明这种热线式流量传感器可以在０～２５ｍＬ／ｍｉｎ的流量测量范围内得到较为准确的测量结果。     

硅微加速度计及其集成测量系统研究

本文从加速度传感器军民两方面的需求出发,介绍了MEMS制造技术及国外采用MEMS加工技术研制的几种一维和三维硅加速度传感器,在此基础上研究了集成加速度测量系统及其工作原理。     

一种用于微小流是测量的热线式流量传感器的研究

本介绍了一种用于微小流量测量的热线式流量传感器，它利用热敏电阻作为发热元件和温度敏感元件。     

A New Study to Compensate Dynamic Measuring Error of Serial Multiple Degree of Freedom（DOF） Strain Gauge Force Sensor

ＡＮｅｗＳｔｕｄｙｔｏＣｏｍｐｅｎｓａｔｅＤｙｎａｍｉｃＭｅａｓｕｒｉｎｇＥｒｒｏｒｏｆＳｅｒｉａｌＭｕｌｔｉｐｌｅＤｅｇｒｅｅｏｆＦｒｅｅｄｏｍ（ＤＯＦ）ＳｔｒａｉｎＧａｕｇｅＦｏｒｃｅＳｅｎｓｏｒＣＡＩＨａｉｎａｎ；ＪＩＡＮＧＺｕｏｍｉｎ；ＱＩＡ...     

采用插值法提高计算机A／D采样密度的方法

本文介绍了一种采用拉格朗日插值的数学方法，当ＡＤＣ的采样速率一定时，采用这种可以对采样点数进行细分，以获得高出实际采亲速率的ＡＤＣ采样结果。     

微流量系统的基础技术研究

介绍了国家自然科学基金重点资助项目”微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果,并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点,微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微光机电系统技术刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机。     

一种采用应变测力传感器补偿动态力测量误差的理论研究

本文在理论上研究了一种采用串联多自由度应测力传感器补偿动态力测量误差的方法，在数学上根据串联多自由度应变测力传感器的输入输出传递函数建立了这种传感器的状态方程，通过对传感器数学模型的分析，提出了一种消除动态力测误差的方法，在本文的假设情况下采用这种方法在理论上可以完全消除测力传感器的动态测量误差。