超精密平面电机控制技术

分析了平面电机的结构及其原理,提出了相应控制技术.对平面电机的驱动力进行解耦,讨论了磁场非均匀性及磁场耦合对平面电机驱动力非线性的影响,并给出相应的补偿方法.最后给出了平面电机定子垂向对称性标定方法,提高了平面电机的定位精度.     

一类抑制扰动的H∞状态反馈非线性控制器设计

研究了一类状态可测仿射非线性系统的扰动抑制问题 ,针对局部渐近稳定的非线性系统受到未知有界的周期性扰动 ,以H∞ 状态反馈标准控制方法为基础 ,给出这类问题的设计方法 ,得到了控制器的参数化描述     

内核对象机制在基于Windows 2000的数控系统中的应用

给出一个基于Windows2000的数控系统的软硬件结构，对其多任务机制进行分析，在介绍Windows2000内核对象机制之后，详细阐述利用内核对象机制来解决数控系统超大G代码文件处理，多任务间同步，应用程序和运动控制卡驱动程序间同步的方法。     

BATTLESPIRE 战争神塔

提起Bethesda Softworks,许多人可能会感到相当陌生。但说到《Dagger Fall》(匕首雨),大家就一定知道,不错,正是Bethesda Softworks制作的古代卷轴系列的第二集《Dagger Fall》当年一举击败红到发紫的《Diablo》,夺得1996年度最佳RPG大奖。虽说有些出人意料。但在欧美,Bethesda Softworks制作的古代卷轴系列在RPG中可谓久负盛名,第一集《Arena》曾勇夺二十多个RPG奖项,使古代卷轴系列初露锋芒,Dagger Fall更是把这一系列推上了新的高度,现在,Bethesda Softworks又向我们推出古代卷轴系列的最新作品《Battlespire》(战斗神塔),恰巧又是在DiabloⅡ之前推出,所谓不是冤家不聚头,历史竟有着惊人的相似,但最终结果如何就不得而知了。     

基于激光干涉仪的数控机床运动误差识别与补偿

提出了数控机床运动误差的软件补偿方法。采用刚体运动假设和齐次坐标变换建立了多轴机床空间运动误差的通用模型。该模型把刀具相对于工件的空间误差表示为机床各结构件之间运动误差的位置函数。给出了全部运动误差参数的激光干扰仪识别方法，提出了一种新的roll误差测量措施，在立式加工中心上进行了运动误差的补偿实验，结果证明所提出的运动误差软件联动补偿效果显著。     

分布式运动控制系统HSSL通信设计与实现

为了满足强实时性分布式运动控制系统中多处理器高速互连的要求,设计了一种使用光纤作为通信介质的高速串行链路(HSSL)通信解决方案,详细描述了HSSL的物理层结构、传输层和应用层协议以及FPGA编程实现的方法。该通信方案已经在步进扫描光刻机研制项目中得到成功应用,实践证明其具有可靠性高、协议开销小、抗电磁干扰能力强、编程容易等优点。     

基于FPGA多通道数据采集系统设计

以EP1K100系列FPGA为核心控制模块结合CS5101A模数转换芯片,实现了高精度数据采集系统,该系统能够完成40路最大采样频率100KHz、精度为12位有效数位的差分模拟信号采集,具有采集通道输入路径的自标定功能。介绍了该控制FPGA由顶至下模块化设计的具体实现方案,并给出其核心模块的状态跃迁图及时序仿真波形。     

步进扫描光刻机远程控制器采样同步时钟技术

为实现100nm步进扫描光刻机的运动控制精度,需要硅片台掩膜台系统的远程采样控制器的采样时钟满足微秒级同步要求.为此采用由同步动作控制器(SAC)发起同步信息,经自定义同步信号总线(SSB)传输,在各分散数字运动控制器中产生采样同步时钟的架构.提出采用现场可编程门阵列(FPGA)硬件完成光纤通信底层协议,引入信号传输优先级管理机制,实现采样同步时钟经各分散控制子系统的光纤通道传输到远程采样控制器的一致性,减少由标准光纤通信协议引起的额外时间开销.估算和实验结果表明:采样同步时钟传输延时约为0.55μs,各分散控制子系统的远程采样控制器接收到采样同步时钟的时延不确定性小于60ns.该采样同步时钟传输技术已成功应用于高速纳米级步进扫描光刻机系统.     

TD让直放站走开？

在TD—SCDMA系统建设过程中，进行单独的宏基站和RRU组网具有一定的局限性，移动运营商也要考虑工程的可实施性和综合性价比。RRU的应用会降低直放站的使用量，但短期内不能完全取代直放站和干放的应用。[编者按]     

长行程直线电机的迭代学习控制

光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度，采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。为减小微动电机的运动范围和加速度，必须提高直线电机的轨迹跟踪精度。提出了一种开闭环D型迭代学习控制律改善永磁直线同步电动机(PMLSM)的轨迹跟踪性能。控制器由三部分组成：PID控制器用来提高系统对扰动和参数变化的鲁棒性；前馈补偿器可提高系统的实时跟踪性能；迭代学习控制器则通过执行重复任务来不断向理想的控制信号逼近。实验结果表明，这种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度。