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背面减薄是制备InP基光电子芯片的一道重要工艺。晶圆被减薄后失去结构支撑,会因应力作用产生剧烈形变,翘曲度大幅提高。严重的翘曲会使芯片可靠性降低甚至失效,应对晶圆的翘曲度进行控制和矫正。文章从“损伤层-翘曲度”理论出发,实验研究了晶圆厚度、粘片方式、研磨压力、磨盘转速、磨料粒径对翘曲度的影响。根据试验结果优化工艺参量,优化后晶圆的翘曲度降低了约20%;再通过湿法腐蚀去除损伤层,矫正已产生的翘曲,使晶圆的翘曲度降低约90%。优化减薄工艺降低损伤应力与湿法腐蚀去除损伤层分别是控制和矫正晶圆翘曲度的适用方法,可使翘曲度下降至之前的10%以内。 相似文献
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卵黄免疫球蛋白(yolk immunoglobulin,IgY)作为禽蛋中重要的免疫活性成分,具有稳定性好、安全性高、廉价、易获得、免疫活性强、不会引发耐药性等优点,在科学研究和生产应用中表现出极强的竞争力。本文综述了IgY作为良好的抗生素替代物在病毒、细菌性疾病防治中的显著优势。另外,IgY通过特异性作用于关键限速酶、相关受体及炎症因子,在营养代谢平衡和肠道微生物菌群、免疫稳态调控中潜力巨大。合理膳食和定点递送食源性IgY可作为炎症调控、疾病防治、营养平衡和稳态调节的新方法,口服微囊化IgY包载体系有望成为解决日益剧增的突发卫生事件(如新型冠状病毒肺炎)的新途径。 相似文献
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结合外延材料工艺、芯片工艺及互连集成工艺具体情况,分析了AlGaN外延材料、探测器阵列芯片及倒焊芯片的均匀性特点,讨论了影响外延材料Al组分分布均匀性、芯片电阻和电容分布均匀性的各种因素。在此基础上,提出了改进器件均匀性的技术途径。利用MOCVD外延材料生长技术,生长了背照式AlGaN-pin异质结构外延材料,并利用所生长的外延材料制作了320×256元AlGaN日盲紫外焦平面阵列器件。测试所制作的器件,结果显示,其光谱响应范围为255~280nm,位于日盲波段,0V偏置时272nm峰值波长响应度大于0.16A/W(外量子效率大于72.9%),有效像元数大于99.2%,响应非均匀性小于3.36%。 相似文献
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射电天文望远镜中极化网络一般由极化器、波导同轴转换器、耦合器等几部分组成,为了获取最高限度的系统灵敏度,极化网络在射电天文低温接收机中会置于低温真空杜瓦20 K 温区,使其对接收机噪声温度的贡献降到最低。通过对极化网络的深入研究设计了一种基于隔板结构的X 波段极化器、耦合器和波导同轴转换器一体化结构。该设计既实现了极化器的线圆转换功能又实现了-30 dB 噪声耦合。测试结果表明该设计拥有良好的轴比、耦合度和驻波特性。同时一体化设计进一步减小了无源器件之间的级联,使低温低噪声放大器之前的馈源网络插入损耗进一步降低,提升了射电望远镜的接收灵敏度。 相似文献
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对ZA203—Ⅰ喷气织机BU板进行了剖析,分析了BU板出现故障的现象和原因,提出了对故障件进行国产件代换的方法。 相似文献
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