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1
1.
氩气压力对中频磁控溅射制备AZO薄膜性能的影响
张承庆
胡小萍
朱景森
方玲
李德仁
卢志超
周少雄
《金属功能材料》
2011,18(4):14-17
在普通玻璃衬底上利用掺杂2%(质量)Al2O3的ZnO陶瓷靶材在中频磁控溅射设备中制备了掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.利用XRD、XPS、紫外可见分光光度计和Hall测试系统研究了Ar气压力(0.73~2.0 Pa)对AZO透明导电薄膜结构、光学和电学性能的影响.随着Ar气压力的增大,电阻率呈先减小后增大的趋...
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