电气石衬底温度对ZnO薄膜的结晶特征和光学特性的影响

利用超声雾化热解技术 (USP) 在不同温度的电气石和玻璃衬底上生长ZnO纳米片状薄膜。结构研究表明晶体为六方纤锌矿多晶结构。衬底温度越高,Raman特征峰越强,XRD结果给出（002）优势定向越明显,晶体结晶性能越好,晶粒尺寸越大。SEM图像显示片状ZnO晶体沿平行衬底方向叠加形成花状晶柱的微观形貌,沉积温度越高,晶柱宽度越大。UV-Vis表明电气石衬底上ZnO吸收峰强度高于玻璃衬底,最大吸收峰位置发生红移,高温下移动更大。