高熵合金AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7扩散阻挡层的制备与性能研究

目的 验证15 nm厚度AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7的势垒层热稳定性和扩散阻挡性能。方法 采用直流磁控溅射技术在n型Si(111)基片上真空溅射沉积15 nm的AlCrTaTiZrRu(3 nm)/(AlCrTaTiZrRu)N0.7 (12 nm)双层阻挡层，随后在双层AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7薄膜的顶部沉积50 nm厚的Cu膜，最终制得Cu/AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7/Si复合薄膜试样。将样品在真空退火炉中分别进行600~900 ℃高温退火30 min，以模拟最恶劣的应用环境。用场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)、能谱分析仪(EDS)、四探针电阻测试仪(FPP)以及原子力显微镜(AFM)对试样的表面形貌、物相组成、化学成分、方块电阻和粗糙度进行表征分析。结果 沉积态AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7薄膜呈现非晶结构，与Cu膜和Si衬底的结合良好。在800 ℃退火后，Cu/AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7/Si薄膜系统结构完整，膜层结构界面之间未出现分层现象，表面Cu颗粒团聚现象加剧，Si衬底和Cu膜表面未发现Cu-Si化合物生成，薄膜方阻保持在较低的0.070 ?/sq;900 ℃退火后，薄膜系统未出现层间分离和空洞现象，Cu膜表面形成孤立的大颗粒Cu-Si化合物，薄膜电阻率大幅上升。结论AlCrTaTiZrRu/(AlCrTaTiZrRu)N0.7双层结构在800 ℃退火后仍能有效抑制Cu与Si相互扩散，其非晶结构增强了Cu/HEA/HEAN0.7/Si体系的热稳定性和扩散阻挡性。     

示范中医院——“杏林”计划江门市华侨中医院设计

<正> 一、建设目标 为了适应侨乡经济建设发展的需要,1991年5月,江门市政府决定在江门市西区华园路兴建一间具有侨乡特色的、现代化的、园林式的综合性中医院,定名为“江门市华侨中医院”。医院按国家三级甲等医院的规模建设,是国家“杏林”计划100家全国示范中医院之一。建成后将向多个地区提供高水平的中医专科服务,预防、保健、康复、高等教学、科学研究等任务的区域性中医院,成为国家高层次的中医医疗卫生服务机构,是江门市中医医疗、教学、科研相结合的技     

空穴载流子在多晶p-ZnO薄膜中的输运特性研究

利用变温霍尔测量技术,研究了空穴载流子在Li和N双受主掺杂的p型ZnO多晶薄膜中的输运特性。实验结果和理论模型的比较研究表明：当温度在85～140K时,空穴载流子主要受晶界散射;当温度在140-300K时,空穴载流子主要受晶格振动散射、位错散射和电离杂质散射的共同作用。     

原生质体紫外诱变选育多糖高产菌株

采用紫外诱变选育多糖高产菌株,通过对原生质体形成条件及诱变条件的研究,探索出了原生质体形成和诱变的最优条件:菌龄为52h,酶解浓度为0.02g/mL,酶解时间为2h,酶解温度为25℃~29℃,0.6mol/L的甘露醇做稳渗剂。通过实验并确定了紫外诱变最佳条件为15W紫外灯30cm处照射时间为10m in,通过初筛和复筛,最终选育出5株遗传性状稳定的多糖高产诱变株,多糖产量分别提高了21.7%、13.5%、12.2%、37.4%、24.0%。     

AlCrTaTiZrV高熵合金氮化物扩散阻挡层的制备及其热稳定性

为研究氮气含量的变化对AlCrTaTiZrV高熵合金薄膜性能的影响,检验在最佳氮气含量下厚度为15 nm的(AlCrTaTiZrV)N扩散阻挡层的热稳定性。采用直流磁控溅射设备在N型Si(111)基底上溅射不同氮气含量的高熵合金氮化物;选取最佳氮气含量为制备条件,在硅基底上沉积15 nm厚的AlCrTaTiZrVN₁₀高熵合金氮化物为扩散阻挡层,并在阻挡层顶部沉积50 nm厚度的Cu膜,最终形成Si/AlCrTaTiZrVN₁₀/Cu三层堆叠结构。利用真空退火炉将Si/AlCrTaTiZrVN₁₀/Cu薄膜体系在500 ℃下进行不同时间的退火处理,用以模拟恶劣的工作环境。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)及四探针电阻测试仪(FPP)对试样的表面形貌、粗糙度、物相组成及方块电阻和进行表征。试验结果为:当氮气含量低于10%时,高熵合金氮化物薄膜为非晶结构。当氮气含量为20%时,高熵合金氮化物薄膜呈现FCC结构,并随着氮气含量的增加,薄膜的结晶性得到提高。薄膜表面的粗糙度在氮气含量为10%时最低,R_a仅为0.124 nm。三层堆叠结构500 ℃退火8 h后,Cu表面发生团聚,薄膜的方阻维持在较低的0.070 Ω/□,且并未发现Cu-Si化合物。厚度为15 nm的非晶结构AlCrTaTiZrVN₁₀薄膜在500 ℃退火8 h后,依旧可以抑制Cu的扩散,表现出了优异的热稳定性及扩散阻挡性能。     

X12CrMoWVNbN钢的热变形行为及热加工图

利用Gleeble3180热模拟试验机,在变形温度为950~1100 ℃,应变速率为0.001~1 s^-1,真应变为0.7的条件下,对X12CrMoWVNbN钢进行了高温单向热压缩试验。通过不同条件下的高温流变曲线分析了变形温度和应变速率对试验钢热变形力学行为的影响。以Arrhenius方程为本构模型,建立了能够预测该钢流动应力的本构方程。基于动态材料模型和试验参数、结果,绘制了该钢不同应变量下的热加工图并结合图进行了组织分析。结果表明,流变峰值应力和稳态应力随温度降低或应变速率升高而升高;功率耗散系数随应变速率降低和变形温度的升高而增大;最优热加工区域功率耗散系数η的值都在0.4以上,且这些区域的变形组织晶粒均匀细小;0.3、0.4、0.5和0.6应变下的最优热加工区域都处于变形温度1050~1100 ℃、应变速率0.001~0.003 s^-1的范围。     

冷轧对GH4169合金组织与性能的影响

采用X射线衍射技术及透射电子显微镜研究了冷轧变形道次及不同变形量对GH4169合金中金属间化合物γ″相和δ相的分布，形貌，数量及性能的影响，结果表明：随着变形程度的增加，析出相由晶内和和晶界析出逐渐转变到形变带及位错墙处析出，γ″相的尺寸逐渐减小，γ″、δ相的析出含量以及材料的强度逐渐增加，双道次冷轧变形提高了δ相的含量，但降低了γ″相的析出量和材料的强度。     

掺铁氧体和SiC纤维水泥基复合材料的吸波性能

用溶胶凝胶法制备了W型Ba(Zn1-χCoχ)2Fe16O27六方铁氧体,并以铁氧体和短切SiC纤维与水泥复合,制备了水泥基复合材料.测量了该材料的电磁参数,并计算了该材料对电磁波的反射率.结果表明:χ为0.8时,W型Ba(Zn1-χCoχ)2Fe16O27六方铁氧体的吸波性能最好,该铁氧体的掺量(质量分数)为35%和短切SiC纤维掺量(质量分数)为0.2%时,水泥基复合材料在12～18GHz范围内具有最大反射率-13.5dB,有效带宽达到4.7GHz.     

铝电解槽废阴极炭块电?热耦合处理过程数值模拟

废阴极炭块是铝电解槽大修时产生的一种危险固体废弃物,对其进行安全处置和资源化利用的关键是深度分离其中的有价组分炭和氟化盐。采用火法工艺对废阴极炭块进行处理,明确了氟化盐的挥发温度。基于氟化盐的挥发析出性质,设计了高温热处理电阻炉,并对其传热特性、控温规律以及氟化盐有效挥发区域进行了三维数值解析。实验确定氟化物的有效挥发温度为≥1700 ℃,该温度段下其挥发率可达93.1%以上。通过模拟不同供电模式下炉内温度场的演变规律,得到:在12 V升温24 h,9 V保温12 h的供电条件下,升温阶段炉内最高温度可达2250 ℃,氟化盐理论挥发区域占比可达98%;采用逐级递减的电压供给制度可以保证1700 ℃以上温度区域维持20 h,大幅度延长了有效热处理时间,有利于废阴极炭块中炭与氟化盐的深度分离。