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1.
采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置   总被引:2,自引:0,他引:2  
李勇  邹丽芸 《电加工》1998,(2):16-19
介绍一种采用蠕动工微进给机体铁微细电火花加工装置,尝试微细电火花加工的产用化和装置本身的微小型化,内容包括装置机构的设计制作及初步的加工实验结果,特别是蠕动式微进给机构提高输出推力,适用于微细电火花加工的设计实现。  相似文献   
2.
以丰富的加工实例研究、分析、介绍了精密数控电火花成形机各种典型实用的工艺技术和方法。  相似文献   
3.
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光.结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.  相似文献   
4.
邹丽芸 《电加工》1995,(6):21-25
以丰富的加工实例研究、分析、介绍了精密数控电火花成形机各种典型实用的工艺技术和方法。  相似文献   
5.
介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究。探讨了微细电火花加工微小轴 (工具电极 )、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法  相似文献   
6.
以大量的加工实例研究,分析,介绍了精密数控电火花成形机各种典型实用的工艺技术和方法。  相似文献   
7.
微细电火花加工工艺研究   总被引:7,自引:0,他引:7  
介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究,探讨了微细电火花加工微小轴(工具电极)高深宽比微小孔,非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法。  相似文献   
8.
LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电极,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽90μm、具有复杂形状的微结构。  相似文献   
9.
介绍了一种采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置,尝试微细火花加工的实用化和装置本身的微小型化。内容包括该装置机构的设计制作及初步的加工实验结果,特别是蠕动式微进给机构提高输出推力、适用于微细电火花加工的设计实现。  相似文献   
10.
介绍了一种采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置 ,尝试微细电火花加工的实用化和装置本身的微小型化。内容包括该装置机构的设计制作及初步的加工实验结果 ,特别是蠕动式微进给机构提高输出推力、适用于微细电火花加工的设计实现  相似文献   
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