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为了解决大型结构件测量困难,设计效率低下,产品误差较大等问题,本文提出了采用全站仪测量系统对大型结构件进行逆向设计的方法。以大型结构件某挖掘机动臂为例,利用全站仪测得了外形轮廓数据,通过UG/ImageWare实现了数据处理与曲面重构,并在ImageWare中进行了误差分析,得到点云与曲面的误差值为-0.933mm到0.975mm,符合最大误差±1.0mm要求。说明运用全站仪对大型结构件进行逆向设计是可行的,与传统设计方法相比更加的快捷、高效、高质量,对国内制造业发展具有重要的意义。 相似文献
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单镜支撑技术是影响光刻机光刻精度的关键因素之一。为了分析某光刻物镜单镜支撑结构对镜面面形的影响,采用接触有限元分析的方法对某光刻物镜系统单镜支撑结构进行分析。由于单镜还受到预紧力和夹紧结构的影响,分析时建立预紧力大小不同,夹紧结构刚度不同,支撑结构刚度不同的有限元模型,计算镜体的自重变形,并由此计算镜面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS)。分析结果表明,当支撑结构特征尺寸D≥0.6 mm时,镜面面形精度对支撑结构特征尺寸D的稳定性最好,这为以后不同口径光刻机物镜系统的单镜支撑技术提供参考。 相似文献
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