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本工作利用一台不作任何较大改动的CAMECA-IMS-3f扇形磁铁型二次离子质谱仪对传统的离子散射谱(ISS)分析技术进行了适当的变通,并对二次离子质谱分析(SIMS)的深度剖析谱进行了浓度定标。在保留SIMS分析高灵敏度、高深度分辨率的前提下,实现了对块体样品中的掺杂元素的SIMS定量深度剖析。通过与离子注入机标称的注入剂量及卢瑟福背散射的定量分析结果相比较,本方法的定量准确度一般好于10%。而 相似文献
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本工作利用一台不作任何较大改动的CAMECA-IMS-3f扇形磁铁型二次离子质谱仪对传统的离子散射谱(ISS)分析技术进行了适当的变通,并对二次离子质谱分析(SIMS)的深度剖析谱进行了浓度定标。在保留SIMS分析高灵敏度、高深度分辨率的前提下,实现了对块体样品中的掺杂元素的SIMS定量深度剖析。通过与离子注入机标称的注入剂量及卢瑟福背散射的定量分析结果相比较,本方法的定量准确度一般好于10%。而精确度则好于5%。本文对该方法的背景、基本原理、实验方法,准确度及优缺点等进行了较详细的讨论。 相似文献
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考虑到铝材料的应用在微电子等众多领域中的重要地位以及由于这类材料质地的柔软性而引起的制样困难 ,为了在几十纳米线度的水平上观察分析铝材料内部微结构状况及其变化规律 ,在分析、比较了目前常用的几种铝材料内部微结构观察分析的制样技术的基础上 ,介绍一种利用聚焦离子束技术 (Focused ion beam,FIB)来对铝引线进行制样与观察分析的方法 ,并得出了一些初步结果。 相似文献
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介绍了用飞行时间二次离子质谱法对器物中的铅同位素比值的测量。在仔细地讨论了质量干扰、二次离子产额的同位素分馆效应等对测量结果的影响后,认为本工作无需标准样品,可以实现对样品无损的高质量分辨的二次离子质谱分析。铅同位素比值的测量精确度优于1%。 相似文献
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