基于模糊算法的产品质量审核的研究

建立了一个ＩＳＯ９０００质量审核体系中的基于模糊理论来解决产品质量审核中问题的方案，将产品质量审核中遇到的各种模糊的评价转化为质量水平，提出质量审核建议。     

蒙特卡罗法单晶硅的腐蚀工艺表面微观形态仿真研究

讨论了基于蒙特卡罗法模拟各向异性腐蚀加工的微观表面形态的仿真方法. 应用台阶流动模型,分析了(h,k,l)晶面中(h+2,h,h), (h,1,1), (h+2,h+2,h)以及(h,h,1)晶面族上反应活跃的台阶部位原子的排列特征,结合微掩模的作用和定义方法,提出了通过限制各晶面族台阶部位广泛存在的一级、二级邻居数为(3,7)原子移除概率的方法来模拟快速反应区域的吸附抑制现象. 把上述内容应用于RPF函数对(100)面的凸起结构,(110)面的带状条纹以及(111)面的三角形凹陷微观结构进行了仿真计算,解释了腐蚀中微观形貌的特征和成因. 算法在3种基础晶面和高指数 (322) 晶面的计算结果能够很好地符合实验中观察到的表面形态微观特征,验证了方法的有效性.     

敏捷制造质量保证系统的研究

敏捷制造的核心是高质量、低成本、快速开发新产品以适应市场的快速变化和满足用户的需求。笔者研究了敏捷制造环境下企业组织形式、产品设计制造流程对质量保证技术的新的要求，提出了敏捷制造模式下的质量保证系统应具有的功能模块和体系结构，进行了有关实现技术的研究，开发了敏捷制造环境下的质量保证原型系统。     

面向敏捷制造的产品配置管理

阐述了产品配置信息在敏捷制造研究中的必要性，分析了敏捷制造产品信息需求和特征，提出了产品配置管理系统的基本框架，探讨了BOM表解决敏捷制造质量管理问题的途径和方法。     

动力学蒙特卡罗法体硅湿法刻蚀工艺仿真的研究与开发

对比分析了BKL、二叉树搜索以及树状结构搜索算法(KLS) 3种动力学蒙特卡罗法的实现过程,讨论了它们在MEMS各向异性湿法刻蚀工艺仿真计算中的应用,阐述了应用特点.使用树状结构搜索算法实现了加工仿真程序,以(111)晶面的原子移除过程为例,解释了蒙特卡罗法在刻蚀中的计算特点.开发的系统模拟了(311)晶面在KOH刻蚀中表面形貌的演化过程,刻蚀面能够很好地再现出表面的微观特征.基于KLS的方法能对湿法硅微结构工艺进行仿真计算,不同刻蚀阶段的微结构能与实验结果相一致,较为合理准确.     

动力学蒙特卡罗法体硅湿法刻蚀工艺仿真的研究与开发

对比分析了BKL、二叉树搜索以及树状结构搜索算法（KLS）3种动力学蒙特卡罗法的实现过程,讨论了它们在MEMS各向异性湿法刻蚀工艺仿真计算中的应用,阐述了应用特点。使用树状结构搜索算法实现了加工仿真程序,以（111）晶面的原子移除过程为例,解释了蒙特卡罗法在刻蚀中的计算特点。开发的系统模拟了（311）晶面在KOH刻蚀中表面形貌的演化过程,刻蚀面能够很好地再现出表面的微观特征。基于KLS的方法能对湿法硅微结构工艺进行仿真计算,不同刻蚀阶段的微结构能与实验结果相一致,较为合理准确。     

基于RDBMS的开关柜模块化CAD系统

本文主要介绍了一个集成于关系数据库上，应用在电子开关柜设计中的CAD系统的构成特点。分析了系统从特征到模块、产品的建立过程。以及在与一般商用RDBMS相连中设计有关SQL接口程序的问颗．在此基础上．形成工程数据管理功能。     

应用虚拟制造技术，提升车间制造水平

主要讨论在新的历史时期,如何和现有资源,应用虚拟制造技术改造我国的制造业,提升车间制造水平。探讨结合虚拟现实构造工具建立敏捷的定义和资源重新分配的方法,以体现新的制造模式下车间虚拟环境的内容,以及虚拟设备模拟运行所需的必要的知识库,加工工艺数据库,希望通过此类研究,使我国的制造业紧跟国际水平,提高制造业总体水平,增强企业在国际国内市场的竞争力。     

工作流技术在远程制造集成质量系统的应用研究

讨论了敏捷制造下制造质量检验和质量追溯系统的应用,提出了基于工作流的敏捷化集成质量保证系统框架和集成技术,可以灵活的组建动态联盟并完成质量工具和数据的协同和重构。应用Ｃｏｒｂａ／Ｊａｖａ ＯＲＢ,形成数据资源、用户资源和软件资源,进而使敏捷质量系统集成于Ｉｎｔｅｒｎｅｔ上。     

基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析

分析了蒙特卡罗方法和元胞自动机法在微加工中各项异性腐蚀的特点和过程,开发了仿真系统,分别使用两种方法模拟使用掩模下的硅微加工过程.通过使用掩模获得的两个微结构的仿真结果,对元胞自动机和蒙特卡罗法的基本结果和特性进行了讨论和分析.两种方法在一定程度上都能正确地反映了实验的结果,元胞自动机在系统结构初步设计中能发挥更大的作用,而蒙特卡罗法能获得细致的表面结构,粗糙度等数据,在小尺度分析上具有更强的模拟能力.