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氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜 总被引:1,自引:0,他引:1
针对"水窗"波段(280~540eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Ti的L吸收边(452.5eV)附近,优化设计了Co/Ti多层膜的膜系结构。计算了不同界面粗糙度条件下的反射率,结果显示,界面粗糙度对多层膜反射率有较大影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制备了Co/Ti多层膜,通过将氮气引入原有的溅射气体氩气中作为反应气体,明显减小了制备的多层膜的界面粗糙度。利用X射线掠入射反射实验和透射电子显微镜测试了多层膜结构,并在北京同步辐射装置(BSRF)3W1B实验站测量了不同氮气浓度下多层膜的反射率。结果显示,氮气含量为5%的溅射气体制备的多层膜样品反射率最高,即将纯氩气溅射制备得到的反射率9.5%提高到了12.0%。得到的结果表明,将氮气加入反应溅射气体可以有效改善Co/Ti多层膜的性能。 相似文献
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采用直流磁控溅射技术制备了周期厚度为27.5nm的W/Si多层膜,使用实时应力测量装置对其应力特性进行了研究。为降低膜层应力,采用W、Si共溅射技术制备WxSi1-x膜层替换W膜层,制备出WxSi1-x/Si多层膜,与W/Si多层膜的应力特性进行了比较研究。结果表明,W/Si多层膜为较大的压应力,测量值为-476.86 MPa,WxSi1-x/Si周期多层膜为较小的压应力,测量值为-102.84MPa。因此采用共溅射制备WxSi1-x代替W可以显著改善多层膜的应力特性。 相似文献
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结合杭州粉砂土地区某工程抗浮锚杆的抗拔试验,对锚杆抗拔验收标准进行了初步的探讨,建议对现行〈土层锚杆设计与施工规范〉第5.3.5条抗拔锚杆验收标准进行一定的改进,如对不同类型的锚杆应规定不同的验收标准,同时应增加锚头总位移验收标准,对锚头总位移的要求应根据工程实际情况由设计人员确定等. 相似文献
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中国化学工程总公司 1987年组织下属单位编写了固定资产核算与管理软件 ,在内部推广 ,中间经过二次比较大的修改 ,一直到 2 0 0 2年 ,这个在 2 86和CE GA卡上开发的管理软件第三版还在不少单位使用。今天 ,因特网和奔四非常普及的年代 ,许多已熟练掌握Excel、FrontPage、IE和Ht 相似文献
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应用投入产出法对某市经济发展状况的分析 总被引:1,自引:0,他引:1
建立地区投入产出模型.以某市1992年的投入产出表为依据,对该市1993年的经济发展状况进行了预测性的分析. 相似文献
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临海市民用建筑工程公司自1984年试行施工企业班组承包经济责任制。经过几年努力,使企业得到了发展。1984年完成工作量为350万元,到1986年为1308万元,翻了两番;全员劳动生产率1986年人均8386元,比承包前增加52‰;1986年上交国家税金35万元。 相似文献