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光学邻近校正(OPC)技术已经成为纳米级半导体工艺技术中的一个关键.目前在OPC中多边形的切分算法均基于配方(recipe),但随着特征线宽减小及版图越来越复杂,用于切分的配方难以覆盖所有的情况;不完备的配方引发或加剧了芯片上的纹波、断线和桥连等现象.论文提出了一种新的基于光刻模型的动态自适应切分算法,根据不同的光刻模型和几何环境可以给出不同的切分,并且可在校正循环中动态改变切分方式和采样点的放置位置.通过90nm工艺下版图设计的验证,这种切分不仅减少了被切分出的小线段(segment)数量的10%~15%,节省了调试切分规则的时间,而且提高了 OPC的质量,使PRV(post RET verification)错误率降低了35%. 相似文献
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嵌入式Flash由于成本、存储密度等优势日益成为微控制器中重要的程序、数据存储器.然而嵌入式Flash相对较慢的读取速度, 制约着微控制器的整体性能, 因而提升Flash中指令和数据的读取性能十分重要.为了提升微控制器中嵌入式Flash的读取性能,提出了一种基于缓存和预取的Flash控制器,并对当前缓存和预取的不足进行... 相似文献
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Inverse lithography technology (ILT), a promising resolution enhancement technology (RET) used in next generations of IC manufacture, has the capability to push lithography to its limit. However, the existing methods of ILT are either time-consuming due to the large layout in a single process, or not accurate enough due to simply block merging in the parallel process. The seamless-merging-oriented parallel ILT method proposed in this paper is fast because of the parallel process; and most importantly, convergence enhancement penalty terms (CEPT) introduced in the parallel ILT optimization process take the environment into consideration as well as environmental change through target updating. This method increases the similarity of the overlapped area between guard-bands and work units, makes the merging process approach seamless and hence reduces hot-spots. The experimental results show that seamless-merging-oriented parallel ILT not only accelerates the optimization process, but also significantly improves the quality of ILT. 相似文献
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基于光刻模型的动态自适应切分OPC 总被引:2,自引:2,他引:0
光学邻近校正(OPC)技术已经成为纳米级半导体工艺技术中的一个关键.目前在OPC中多边形的切分算法均基于配方(recipe),但随着特征线宽减小及版图越来越复杂,用于切分的配方难以覆盖所有的情况;不完备的配方引发或加剧了芯片上的纹波、断线和桥连等现象.论文提出了一种新的基于光刻模型的动态自适应切分算法,根据不同的光刻模型和几何环境可以给出不同的切分,并且可在校正循环中动态改变切分方式和采样点的放置位置.通过90nm工艺下版图设计的验证,这种切分不仅减少了被切分出的小线段(segment)数量的10%~15%,节省了调试切分规则的时间,而且提高了 OPC的质量,使PRV(post RET verification)错误率降低了35%. 相似文献
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新型电力系统发展过程中,不断涌现的新业务、新场景、新模式必然衍生大量的私有协议和非标准设备,这些新的协议和设备如不经过深入检测就投入运行必将带来巨大的安全隐患。模糊测试已被广泛应用于漏洞挖掘,然而面对新的、未知的协议和设备,模糊测试种子的质量直接影响测试的最终效果。鉴于此,本文提出一种基于影响性导向的模糊测试种子筛选方法,通过通信报文采集、通信报文去重、报文重放及状态监测、影响性计算、模糊测试种子排序等流程,优选出处理流程更复杂,运行状态影响更大的模糊测试种子用于测试用例生成,从而提升模糊测试的效率及异常检出率。 相似文献
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对于现有软核处理器存在使用灵活性差、功耗高等问题,提出基于RISC-V架构的电力专用片上系统。采用RISC-V核作为标量处理器,按照系统功能设计、顶层结构设计、IP模块设计、功能仿真验证、综合布线、芯片制造等设计流程设计SoC芯片。实验结果证明,所提研究的SoC芯片仿真运行频率可达到100 MHz,且能灵活稳定运行,功耗较低,性能较高,能够对电力系统中的突发故障进行实时的监测和预警,可广泛应用于智能电网系统和智能家电的控制。 相似文献
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