射频/直流磁控溅射不锈钢/Al_2O_3复合薄膜组织与性能研究

利用射频 /直流磁控溅射法 ,制备了 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合薄膜 ,研究了 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合膜的组织形貌 ,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性。结果表明 :直流磁控溅射 31 6L不锈钢薄膜呈柱状晶结构 ,主要有 Fe- Cr和γ- Fe相构成 ,在 Fe- Cr( 1 1 0 )晶面出现明显的择优取向 ;由于射频溅射 Al2 O3 陶瓷的掺合 ,使 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合薄膜柱状晶细化 ,并出现二次柱状晶 ,在 Fe- Cr( 2 1 1 )晶面出现明显的择优取向 ,31 6L不锈钢膜硬度明显高于 31 6L块体 ,掺合了 Al2 O3 的金属 /陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。     

射频／直流磁控溅射不锈钢／Al2O3复合薄膜组织与性能研究

利用射频/直流碳控溅射法,制备了316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合薄膜,研究了316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合膜的组织形貌。测试了薄膜的显微硬度和耐磨性。结果表明：直流磁控溅射316L不锈钢薄膜呈柱状晶结构,主要有Fe-Cr和γ-Fe相构成,在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向,由于射频溅赈射Al2O3陶瓷的掺合,使316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr（211）晶面出现明显的掺优取向, 316L不锈钢膜硬度明显高于316L块体,掺合了Al2O3的金属/陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。     

射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*

利用射频／直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢／SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性。结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L／SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr（110）晶面出现明显择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢／陶瓷复合薄膜柱装晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr（211）晶面出现明显的掺优取向,尽管316L不锈钢／陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L／Al2O3复合膜尤为显著。     

RF/DC溅射316L/SiO_2复合膜力学性能与显微结构的研究

利用射频 /直流磁控溅射法制备了 316 L不锈钢 / Si O2 复合薄膜 ,并对其组织、相结构和力学性能进行了测试分析。结果表明 :直流磁控溅射 316 L不锈钢薄膜呈柱状晶结构 ,主要由 Fe- Cr和 - Fe相构成 ,在 Fe-Cr(110 )晶面出现明显择优取向 ;由于 Si O2 的掺合 ,使 316 L不锈钢 / Si O2 复合薄膜柱状晶变细小 ,出现明显的二次柱状晶 ,Fe- Cr的 (110 )晶面择优取向消失 ,而 Fe- Cr的 (2 11)晶面衍射峰强度明显增强 ,316不锈钢膜硬度明显高于 316 L块体 ,掺入 Si O2 的金属 /陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高     

RF／DC溅射316L／SiO2复合膜力学性能与显微结构的研究

利用射频／直流磁控测射法制备了316L不锈钢／SiO2复合薄膜,并对其组织,相结构和力学性能进行了测试分析,结果表明,直流磁控溅射316L不锈钢薄膜呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和r-Fe相构成,在Fe-Cr(110)晶面出现明显择优取向,由于SiO2的掺合,使316L不锈钢／SiO2复合薄膜柱状晶变细小,出现明显的二次柱状晶,Fe-Cr的（110）晶面掺优取向消失,而Fe-Cr的（211）晶面衍射峰强度明显增强,316不锈钢膜硬度明显高于316L块体,掺入SiO2的金属／陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。