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HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在HgCdT e光伏探测器件S iO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和A+r刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件。对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离子质谱测试后发现,O+2清洗对去除样品表面的残余光刻胶效果显著;而A r+刻蚀使ZnS表面更为粗糙,增加了成核中心,使S iO2和ZnS表面互相渗透,增强了两层介质膜的附着力。 相似文献
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高职院校"双师素质"教师培养项目体系建设,是高职院校队伍建设的重要研究课题。按照分层次、分类别、分项目设计培养项目体系,是人才培养工作的需要,是质量工程建设的需要,是学校特色建设的需要。"双师素质"教师培养项目体系的实施,可以使队伍建设更加科学与系统,提高教师培养的针对性和可操作性,确保教师培养的人性化管理。从而有助于培养一支师德高尚、业务精湛、结构合理、充满活力的高素质专业化教师队伍,实现高职教育的改革与建设目标。 相似文献
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