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InP/GaAs低温键合的新方法 总被引:4,自引:1,他引:3
通过对 InP/GaAs 异质键合实验方法的研究,提出了包括表面活化处理、真空预键合和退火热处理的三步法,在350℃低温下实现了InP/GaAs异质材料的键合。界面电流 电压(I V)特性的研究表明,350℃样品的界面过渡层极薄,电子主要以隧穿方式通过界面,而450℃的扩散使得过渡层增厚,界面电流 电压特性可视为双肖特基二极管的反向串联。同时,对键合样品也进行了拉力测试,实验结果表明 450℃样品的键合强度优于350℃样品。最后,对InP/GaAs异质材料的键合机理进行了探讨。 相似文献
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在从头计算的LMTO—ASA方法中引用Lowdin微扰法,计算了β-SiC晶体的总能E_(tot),平衡晶格常数α_0,体模量B_0,体模量的压力微商B_0~'和能带结构,计算结果与从头计算的赝势法等的计算结果基本相符,与实验值的偏差合理,但计算量小,进一步证明利用微扰计入空d态影响的LMTO—ASA方法是行之有效的方法。 相似文献
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