不同钝化层对硅基铝金属膜应力影响的研究

采用光偏振相移干涉原理测量了硅基上不同钝化层下铝膜应力的变化.研究表明:不同的钝化层对铝膜的应力影响不同.SiO2钝化层下的铝膜应力最小,而钝化层为聚酰亚胺的铝膜应力最大.200 ℃下退火4 h后,应力减小明显,且分布趋向均匀.同时采用有限元法对不同钝化层的铝膜进行了应力模拟,模拟结果与实验结果相符.     

有限元分析法在MCM三维热模拟中的应用

多芯片组件(MCM)的可靠性特别是其热可靠性已经成为国内外电子产品可靠性研究的焦点之一.热有限元分析法是多芯片组件热分析的重要方法.本文运用ANSYS工具建立了MCM的三维热模型,得到了温场分布.通过热模拟和热分析,提出了改善MCM温场的方案.     

退火温度对铝互连线热应力的影响

采用二维面探测器X射线衍射(XRD)测量1μm和0.5μm厚Al互连线退火前后的残余应力.沉积态Al线均为拉应力,且随膜厚的增加而减小.沿长度方向的应力明显高于宽度方向的应力,表面法线方向应力最小.250℃退火2.5h后,互连线在各方向上的应力都减弱,其中1μm Al线应力减弱幅度高于0.5μm互连线.采用电子背散射衍射(EBSD)方法,测量退火前后Al互连线(111),(100),(110)取向晶粒的IQ值.退火后平均IQ值提高,互连线残余内应力随之减小.EBSD分析结果与XRD应力测试结果相符合.     

NGN系统容灾技术分析

福建空管分局即将建设的NGN系统将为整个长乐机场提供通讯语音网服务。为了确保NGN系统的可靠性、安全性及降低运行风险，需要系统提供良好的容灾技术，因此了解NGN容灾技术，对维护人员而言具有很重大的意义。本文系统阐述了NGN系统容灾关键技术，希望对相关维护人员有所帮助。     

影响民航KU卫星地面站入网的主要因素分析

民航Ku波段卫星系统于2005年开始建设,目前是空管重要的空侧传输系统之一。该系统由网控及各个卫星地面站组成,是基于卫星的全数字话音和数据通信的网状网,卫星的通信频段采用Ku波段。目前该系统主要传输民航空管管制飞行所需要的相关业务如雷达信号、甚高频信号、转报信号等,KU卫星地面站一旦无法入网将直接导致以上相关业务的传输中断。然而影响卫星地面站入网的因素有很多,因此了解以上因素及需要采取的对策,对卫星设备维护人员保障KU卫星系统正常运行有非常重要的意义。     

退火温度对铝互连线热应力的影响

采用二维面探测器X射线衍射（XRD）测量1μm和0.5μm厚Al互连线退火前后的残余应力. 沉积态Al线均为拉应力，且随膜厚的增加而减小. 沿长度方向的应力明显高于宽度方向的应力，表面法线方向应力最小. 250℃退火2.5h后，互连线在各方向上的应力都减弱，其中1μm Al线应力减弱幅度高于0.5μm互连线. 采用电子背散射衍射（EBSD）方法，测量退火前后Al互连线(111), (100), (110)取向晶粒的IQ值. 退火后平均IQ值提高，互连线残余内应力随之减小. EBSD分析结果与XRD应力测试结果相符合.     

薄栅CMOS的可靠性模型

介绍了两种与栅氧化层失效有关的模型以及用于估计芯片寿命的热阻模型.随着晶体管特征尺寸的减小,现有的栅失效模型不能提供准确的计算和预测,因此提出了新的适用于小尺寸晶体管的栅失效模型.同时提出了用于评价芯片寿命的热阻和结温的估计模型.     

多层金属化系统中蓄水池效应对电迁移寿命的影响

在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔数目对互连线电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.     

有限元分析法在MCM三维热模拟中的应用

多芯片组件(MCM)的可靠性特别是其热可靠性已经成为国内外电子产品可靠性研究的焦点之一.热有限元分析法是多芯片组件热分析的重要方法.本文运用ANSYS工具建立了MCM的三维热模型,得到了温场分布.通过热模拟和热分析,提出了改善MCM温场的方案.