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近期光刻用ArF准分子激光技术发展 总被引:1,自引:1,他引:0
193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。ArF浸没式也已进入45 nm节点量产阶段。双图形光刻(DPL)技术被业界认为是下一代光刻32 nm节点最具竞争力的技术。利用双图形技术达到32 nm及以下节点已经被诸多设备制造商写入自己的技术发展线路。Cymer公司和Gigaphoton公司为双图形光刻开发了高输出功率、高能量稳定性和具有稳定的窄谱线宽度ArF准分子光源。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构、主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。 相似文献
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目的高岭石是沉积岩重要的黏土矿物,为明确高岭石在CO2水溶液中化学行为与变化历程,探究CO2与高岭石反应规律。 方法在10 MPa、60 ℃下,利用XRD、XRF、ICP、SEM等手段系统评价了高岭石与CO2在不同反应阶段的状态,重点对比了高岭石粉末反应前后固相元素、晶体结构及反应液中离子含量变化,结合高岭石结构特征,明确高岭石在酸中的变化规律。 结果液相中新增加了Al3+、Si4+,Mg2+含量先上升后趋于平稳,固相粉末中Si/Al(质量比)变化较小,衍射曲线峰形稳定,高岭石集合体未见明显溶蚀,单体边缘有轻微溶蚀。 结论高岭石与CO2反应后总体变化较小,在CO2溶液中相对稳定存在。实验结果为注CO2对储层特征的影响以及气/水交替驱的可行性研究提供重要参数和依据。 相似文献
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蒙脱石是沉积岩重要的黏土矿物,为探究CO2的注入对蒙脱石产生的影响,明确蒙脱石在CO2水溶液中的
化学行为,利用XRD、XRF、ICP 等手段系统评价了蒙脱石在10 MPa、60 ℃条件下分别与CO2反应7、30 d 时的状
态,重点对比了蒙脱石粉末反应前后固相元素、晶体结构及反应液中离子浓度变化,结合蒙脱石结构特征,明确
蒙脱石在酸中变化的机理。结果表明,蒙脱石与CO2反应后液相中Ca2+ 、Mg2+ 、Al3+ 浓度先上升后下降;Si4+ 浓度先
上升后趋于平稳,固相中d(001)对应晶面在溶解反应后遭到破坏。相对于Al3+ 、Si4+,反应过程中Mg2+、Ca2+、Na+
的变动幅度相对较大。一方面,由于蒙脱石阳离子交换容量较大,层间Na+、Mg2+、Ca2+等半径较大的活性阳离子
易被半径较小的H+置换出;另一方面,蒙脱石层间分子间作用力为范德华力,相对于静电力较弱,结构易被破
坏。在酸性条件下,硅氧四面体稳定性略强于铝氧八面体,但蒙脱石中非晶态Si 易溶解,使Si 的变化幅度大于
Al 的变化幅度。 相似文献
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以2011—2015年我国A股上市公司的非平衡面板数据为研究对象,运用Logit、Oedered Logit和Poisson模型对区域社会资本和上市公司违规行为之间的关系进行探讨,进一步考察不同市场化进程程度下,区域社会资本对上市公司违规行为作用的差异。实证结果表明:社会资本越高的地区,越不容易发生违规行为;市场化进程较高的地区,区域社会资本对违规行为的负向影响更显著。结论对治理上市公司的违规行为提供了一种新思路和方法,有利于保护投资者合法利益,促进我国证券市场健康有序发展。 相似文献
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本文研究了一种在背景噪声和干扰噪声存在的情况下基于麦克风阵列的噪声消除方法,具有准确的指向性。波束形成可以更好的获取指定方向的增强语音及抑制其它方向的噪声的效果。而现已存在的波束形成的方法处理后,增强之后的语音仍然会存在部分的干扰噪声。针对这样的问题,本文提出了一种利用信号功率谱密度比值的广义旁瓣消除波束形成方法来进一步实现对背景噪声和干扰噪声的抑制。此外,本文还进一步利用深度神经网络的方法,通过训练多目标函数下的掩蔽值结合最优改进对数谱幅度,做后置滤波可以更高效地对残留干扰噪声进行消除。本文中通过对比实验,比较了不同的基线方法,更好地验证了所提出算法的有效性。 相似文献
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针对语音识别系统在噪声环境下不能保持很好鲁棒性的问题,提出了一种切换语音功率谱估计算法。该算法假设语音的幅度谱服从Chi分布,提出了一种改进的基于最小均方误差(MMSE)的语音功率谱估计算法。然后,结合语音存在的概率(SPP),推导出改进的基于语音存在概率的MMSE估计器。接下来,将改进的MSME估计器与传统的维纳滤波器结合。在噪声干扰比较大时,使用改进的MMSE估计器来估计纯净语音的功率谱,当噪声干扰较小时,改用传统的维纳滤波器以减少计算量,最终得到用于识别系统的切换语音功率谱估计算法。实验结果表明,所提算法相比传统的瑞利分布下的MMSE估计器在各种噪声的情况下识别率平均提高在8个百分点左右,在去除噪声干扰、提高识别系统鲁棒性的同时,减小了语音识别系统的功耗。 相似文献