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为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。 相似文献
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相对于近红外波段的飞秒激光脉冲,紫外波段的飞秒脉冲由于具有单光子能量高、聚焦特性好、电离率高和成丝阈值低等优点,在高功率密度光场的产生、等离子体光物理等领域有着越来越广阔的应用前景,成为激光技术的研究热点。随着紫外飞秒激光技术的发展,传统的脉宽测量方法不能满足需求。指出了紫外飞秒激光脉宽测量研究的主要进展,讨论了目前可用于紫外飞秒激光脉宽的测量方法,主要有双光子荧光测量法、互相关法、简并四波混频法、多光子电离法,介绍了相关测量原理与特点。在此基础上,对紫外飞秒激光脉宽测量技术研究前景进行了展望。 相似文献
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为了实现食盐中重金属镉(Cd)的快速定量检测,以193nm的自制准分子激光器作为激发光源,通过外部添加重金属元素Cd制作了8组食盐样品,采用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术,选取Cd Ⅰ228.8nm特征谱线作为分析线,进行了理论分析和实验验证。结果表明,延迟时间为1.5μs时,能够获得较好的光谱强度和信背比;谱线强度与Cd的质量分数具有很好的线性关系,拟合度为0.984,预测相对误差小于7%,检测限为0.65mg/kg。LIBS检测技术不仅具有快捷方便、无需繁琐样品准备等优点,而且具有较高的检测精度,是一种在食品安全快速检测领域中非常新颖的、有潜力的检测技术。 相似文献
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近期光刻用ArF准分子激光技术发展 总被引:1,自引:1,他引:0
193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。ArF浸没式也已进入45 nm节点量产阶段。双图形光刻(DPL)技术被业界认为是下一代光刻32 nm节点最具竞争力的技术。利用双图形技术达到32 nm及以下节点已经被诸多设备制造商写入自己的技术发展线路。Cymer公司和Gigaphoton公司为双图形光刻开发了高输出功率、高能量稳定性和具有稳定的窄谱线宽度ArF准分子光源。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构、主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。 相似文献
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介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统,实现了对0~200Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成,解决了闸流管放电强电磁干扰等难点,并在193nmArF和248nmKrF准分子激光器上进行了测试:响应时间4ms、分辨率10 、灵敏度0.5 、精度 3%。本系统既可作为能量计使用,也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中,如采用响应速度更高的光电管,有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术。 相似文献