Si3N4微尺度薄膜比热特性测量研究

比热是Si3N4薄膜重要的热学参数之一,Si3N4薄膜比热特性研究对热传原理传感器研究和发展以及物质微尺度热学特性的研究有重要的意义.本研究设计并制作出一种悬膜结构,从理论上分析了此结构的传热机理,并通过实验测得Si3N4薄膜的比热,最后分析了此测量系统存在的误差及解决方法.     

碳纳米管的场发射特性

研究了碳纳米管的场致发射特性，实验证明碳纳米管作为场发射阴极材料具有优越性。通过对碳纳米管进行温度处理，得到了与基片附着力强的碳纳米管；测试了场发射特性，发现碳纳米管其开启电压较低(30V)。     

二极管、可变电阻器并联热敏基元特性分析及其在传感器中的应用

提出了由二极管与可变电阻器组成热敏基元;它可接于网络任何节点和地之间。分析了它的湿度特性和作用,并用实验验证了理论分析的正确性。文中还简述了基元在压力传感器中的应用。     

Si3N4微尺度薄膜的热物性

Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜,并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数.     

一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作

目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应。本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法,其相应的实验器件为一悬膜结构。从理论上阐述了其测量原理,结合ANSYS热学模拟设计并利用微机械加工技术制作出SiO2悬膜结构,悬膜由两个悬臂支撑,在悬膜上制作了Pt薄膜电阻同时用于加热和测温。这种结构加快了样品、悬膜和加热/测温电阻之间的热传递,减小了悬膜的热损失,提高了测量精度。     

零点电漂移作为压力传感器特性指标的讨论

当测定不同压力传感器的特性时，发现均存在零点电漂移现象。本文从理论上分析指数，力敏电桥的零点电漂移起因于桥臂电阻的非线性，后者与扩散电阻的有效导电层宽度随外加电压变化及反向漏电有关，温度在50-60℃以下时，反向漏电的影响可忽略，本文讨论了零点电漂移的影响以及使其抑制的问题，并认为应将它作为一个特性指标。     

压力传感器零点电漂移与热漂移特性的模拟

利用ＰＳＰＩＣＥ程序结合非线性电阻模型来模拟压力传感器的电桥电路,可显示零点电漂移和热漂移特性。并阐明可利用电漂移来消除热零点漂移。     

薄膜热导率测量结构的研究

提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件.利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温.薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系统误差.实验中对0.5μm到2μm的一系列氮化硅薄膜进行了测量,得到了薄膜热导率的尺寸效应.     

微纳米薄膜的悬浮腐蚀法

介绍了一种腐蚀薄膜的研制方法及其装置.为制备带有各种金属引线及电极的大面积超薄悬浮薄膜(厚度:50～500nm、1～5μm;面积:3mm×2mm、10mm×5mm)提供了一种有效的方法.提高成品率30%,具有装置结构简单、支架体积小、质量轻、易于加工、操作方便、经济耐用、造型可根据器件需要加工设计等优点.     

应用PSPICE软件分析压力传感器的非线性电阻电桥电路

利用 ＰＳＰＩＣＥ软件模拟由扩散为敏电阻器构成的非线性电阻电桥电路的行为特性,指出可利用其中受电压控制的电压源及其扩展功能来模拟非线性扩散电阻器在电路的等价作用,进而显示出压力传感器中非线性为敏电阻电桥电路的电漂移和热漂移特性．结合０℃和５０℃时压力传感器电桥零点输出的实验结果对比模拟结果进行了分析．简要地论述了电桥零点输出电漂移的起因以及如何利用电漂移来消除热零点漂移．