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以离子束溅射沉积(IBSD)法制备的Sm-Fe系超磁致伸缩薄膜悬臂板为研究对象,通过ANSYS有限元分析法,对超磁致伸缩薄膜/盖玻片衬底悬臂板自由端挠度值的大小进行模拟计算,并模拟Sm-Fe薄膜、Sm-Fe/Fe复合膜的内部磁化状态.结果表明:在薄膜与衬底厚度比较小的情况下,悬臂板端点挠度值随薄膜厚度的增加而线性增加,且与衬底厚度近似成二次抛物线关系,有限元分析结果与实测情况吻合较好;Sm-Fe单层膜内部磁力线分布较均匀;在Sm-Fe/Fe复合膜中,由于Fe膜的负磁场效应,使Sm-Fe膜内的磁力线分布出现不均匀的现象,且磁感应强度比Sm-Fe单层膜小. 相似文献
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为了提高TbDv-Fe膜的低场磁敏性,采用离子束溅射沉积(IBSD)法制备TbDy-Fe超磁致伸缩薄膜,分别研究了纯Fe膜与TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe/Fe耦合多层膜的复合及磁场下溅射沉积对TbDy-Fe膜磁致伸缩性能的影响;用振动样品磁强计(VSM)测试薄膜磁滞回线,用电容位移测量仪测试薄膜悬臂梁自由端偏转量,并计算出磁致伸缩系数λ.结果表明,由IBSD法制备的纯Fe膜、TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe/Fe复合膜的易磁化轴均平行于膜面,TbDy-Fe/Fe复合膜在低场下的磁化强度与磁导率均高于TbDy-Fe单层膜(在100 kA/m时,TbDy-Fe/Fe复合膜的磁化强度比TbDy-Fe单层膜高173%).纯Fe膜分别与TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe/Fe耦合多层膜进行复合均可提高薄膜磁致伸缩性能;磁场下溅射沉积所得180 nm纯Fe膜 640 nmTbDy-Fe/Fe耦合多层膜,由于在其膜面内短轴方向产生感生磁各向异性,从而使磁致伸缩性能得到进一步的提高,在150 kA/m的磁场下它的λ值可达到650×10-6. 相似文献
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