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提出了一种基于MEMS技术的爆炸物探测器的检测原理及其制作方法,并研制出该探测器样机.对两种常见固态爆炸物梯恩梯(TNT)和黑索金的探测实验表明,它能够检测出微克量级的爆炸物微粒,检测极限约为1μg.该探测器较适用于对大宗可疑物品进行微克至毫克量级采样后的快速检测.
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提出了一种能抗侧向耦合干扰的微机械硅倾角传感器的敏感结构设计,它由两个不同大小的质量块和连接它们的两个相互平行的硅应变梁组成.文中通过推导给出了硅应变梁上所受的应变与倾角及位置的解析关系,并计算了在两个不同质量块作用下硅梁上的应力分布,最后提出了制作该结构的工艺设计.
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提出了一种能抗侧向耦合干扰的微机械硅倾角传感器的敏感结构设计，它由两个不同大小的质量块和连接它们的两个相互平行的硅应变梁组成。文中通过推导给出了硅应变梁上所受的应变与倾角及位置的解析关系，并计算了在两个不同质量块作用下硅梁上的应力分布，最后提出了制作该结构的工艺设计。
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提出了一种能抗侧向耦合干扰的微机械硅倾角传感器的敏感结构设计 ,它由两个不同大小的质量块和连接它们的两个相互平行的硅应变梁组成。文中通过推导给出了硅应变梁上所受的应变与倾角及位置的解析关系 ,并计算了在两个不同质量块作用下硅梁上的应力分布 ,最后提出了制作该结构的工艺设计
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5.
离子迁移谱仪（IMS）在痕量化学物探测方面已有广泛应用，微型化的IMS则具有许多独特的优点和巨大的应用潜力。介绍了微型化IMS的仪器原理与结构特点及目前的主要研究成果，分析了其面临的主要问题及可能的解决途径，最后对微型化IMS的发展方向提出了一些看法。
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