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用离子束增强沉积法(IBED)在硅及铜基体上沉积了TiB2薄膜,研究了轰击离子束能量和束流对薄膜的微结构及力学性能的影响。用俄歇电子谱(AES)分析了膜的成分及其界面状况,用X射线衍射(XRD)研究了膜的微结构,并测定了膜的硬度及进行了膜的高温氧化试验。结果指出:(1)离子束轰击使薄膜晶化,从而影响到膜的硬度及抗高温氧化性能;(2)离子束增强沉积的二硼化钛薄膜是一种耐高温氧化的高硬膜。 相似文献
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关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题 总被引:2,自引:0,他引:2
本文目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源. 相似文献
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用于辅助镀膜的霍尔等离子体源 总被引:4,自引:0,他引:4
论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果. 相似文献
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本文主要介绍放射性同位素示踪地下管线检漏方法及其仪器设备。为了检查地下管线的泄漏,上海原子核研究所发展了放射性示踪检漏技术,并研制成功了相应的长距离地下管道检漏仪。用一定量的放射性示踪溶液注入被检测管线,随后冲洗残存在管道内的放射性示踪剂,最后把检漏仪放进管道内,由管内流体推动,使其沿管线向前移动同时进行探测。检漏仪能探测到本底和漏出在管外壁周围的放射性,并自动地把放射性信号和时间信号记录在磁带上。根据信号曲线,我们可以判断该管线有无泄漏;如有泄漏,同时可以准确地确定漏洞的位置。 相似文献
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