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为了电磁继电器的微型化和提高生产效率,基于微机电系统(MEMS)加工技术提出并试制出一种微机械电磁继电器.这种微继电器由底层磁路、平面励磁线圈和活动电极(衔铁)构成比较完整的磁路,依靠励磁线圈的电流来控制其开关动作,微继电器体积约为5mm×5mm×0.4 mm,其制作工艺主要采用光刻、溅射、电镀和腐蚀牺牲层等常规微加工工艺;同时,利用磁路模型进行了电磁力的理论计算,利用其结果对活动电极尺寸和励磁线圈匝数进行了优化设计,给出了试制的微继电器样品的初步测试结果,励磁线圈阻抗约300Ω,触点导通阻抗约1.7Ω,励磁电流约50mA时可使继电器可靠吸合. 相似文献
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根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析。分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测。有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求。 相似文献
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激光熔覆制备Al65 Cu20 Cr15准晶态合金及其类似相的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了以45#钢基体表面激光熔覆准晶态Al65Cu20Cr15粉末制备准晶及其类似相涂层过程中,激光功率和扫描速度对激光熔覆涂层相结构的影响。实验结果表明:由于激光切率和扫描速度的变化,基体材料对熔覆涂层的稀释程度发生改变;随着激光熔覆稀释率的增加,熔覆层的相结构依次为β+i,β d,β,β Fe;激光熔覆粉末所制备的涂层结构致密,无孔隙和裂纹;涂层的表面显微硬度及摩擦系数等力学性能也因涂层相结构的不同而有所差异。 相似文献
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为研究压电薄膜驱动的应用,介绍了一种MEMS压电喷墨打印机喷头的工作原理.重点研究了逆压电效应作用产生的机械振动特性.模型结构由一种耐热玻璃与沉积在其表面的压电薄膜复合而成.针对圆形、方形两种形状的压电薄膜,利用有限元分析软件ANSYS分别求得复合结构的最大静位移0.57μm和0.36 μm,一阶固有频率23.90 kHz和22.30 kHz,并比较了两种情况下的动力特性.仿真结果表明,所施加驱动交流电压的频率对该结构可产生很大的影响,其最大机械变形主要取决于谐振频率,从而为喷墨打印机喷头及类似器件的设计提供参考. 相似文献
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一水硬铝石热分解动力学研究 总被引:4,自引:1,他引:4
分别采用等温过程、非等温过程热重 -差热联合法测定一水硬铝石 (β-AlOOH)的TGA曲线 .利用X射线衍射仪对分解前后试样进行了物相分析 .经数据处理 ,得到了不同时段、不同方法下热分解反应的动力学参数E ,A和相应的反应机制 .结果表 2明 ,一水硬铝石在40 0℃时开始缓慢反应 ,反应峰温在 5 10℃附近 .其热分解机制比较复杂 ,并且在转变分数 0 .85 <α <0 .90这一区段呈现一个目前无法解释的机制 ,这可能是两种反应机制同时控制的结果 ,或者需要建立新的模型 . 相似文献
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