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1.
2.
过孔刻蚀工艺优化对过孔尺寸减小的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,之前做过钝化层沉积工艺优化来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔尺寸的研究。本文在此基础上进行过孔刻蚀工艺的优化,从而最终达到进一步减小过孔尺寸实现TFT-LCD小型化与窄边框化的趋势。通过设计实验考察了影响过孔大小刻蚀主要影响因素(功率、压强、气体比率、刻蚀速率选择比)。实验结果表明,在薄膜沉积优化的基础上可使过孔的尺寸再降低10%~20%。对其进行了良率检测与工艺稳定性评价,最终获得了过孔尺寸减小的方案,并成功导入到产品生产中,从而提高了产品品质。  相似文献   
3.
李田生 《山西建筑》2009,35(19):90-91
主要介绍了土层锚杆的作用机理及检测参数,详细总结了土层锚杆拉拔检测的技术重点以及土层锚杆检测亟待解决的问题,通过加强土层锚杆检测理论研究,从而确保锚杆施工质量。  相似文献   
4.
由于建筑物立面造型的需要,近年来受扭构件在工程上应用越来越多。在钢筋混凝土工程的隐蔽验收中。也常常发现一些钢筋工对受扭构件的钢筋构造要求缺乏相关的知识。使得绑扎好的钢筋不符合规范的要求,造成事后返工的麻烦。现根据《混凝土结构设计规范》(GB50010-2002)谈谈受扭构件及其布筋的一些问题。  相似文献   
5.
钢筋是工程检测最常见的一种建筑材料,在对其检测工作中有一些细节问题,往往为检测人员所忽视主误解,如接头断距的测量、标距的刻划、钢筋规格尺寸的测量、现行标准更新不同步等。本文就钢材检测中遇到的上述问题与各位朋友相互交流望共同提高。  相似文献   
6.
钝化层沉积工艺对过孔尺寸减小的研究   总被引:2,自引:2,他引:0  
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔(VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察了影响过孔大小的钝化层的主要影响因素(黑点、倒角、顶层钝化层沉积厚度,顶层钝化层沉积压力),得出了在不改变原有刻蚀方式基础之上使过孔的尺寸降低20%~30%的优化方案,并对其进行了电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、Mobility:迁移率),从而获得了较佳的减小过孔尺寸的方案,提高了产品品质。  相似文献   
7.
通过溶胶-凝胶热涂法制备高通量的微孔二氧化硅分子筛膜,并将其应用于渗透蒸发乙酸脱水,评价二氧化硅分子筛膜的分离性能;利用粒度分析仪和SEM对溶胶和膜层进行表征.结果表明,溶胶中二氧化硅颗粒的直径为10~80nm,无定形微孔二氧化硅分子筛膜对该体系显示了优异的分离性能,在353K时渗透蒸发分离水质量分数为5%的乙酸水溶液时,通量为0.65kg/(m2.h),分离系数达到120,经过35h的渗透蒸发实验后分离系数增高到160左右,通量基本不变为0.60kg/(m2.h).  相似文献   
8.
采用原位生长法在管状大孔α-Al2O3载体外表面上合成致密连续Silicalite-1沸石膜,利用双氧水和稀硝酸混合液液相氧化-低温煅烧方法脱除Silicalite-1沸石膜的模板剂,并用扫描电镜(SEM)、气体渗透测试,渗透蒸发(PV)等表征手段对沸石膜的性能进行评价.结果表明所制备的Silicalite-1膜表面晶粒交互生长,致密,连续,膜的厚度约为10 μm.在293K,0.1 MPa压差条件下,N2的渗透速率为8.16×10-7mol/(m2·s·Pa),N2/i-C4H10理想分离系数为达到425.在428 K下,CO2/N2的理想分离系数为2.89.在333 K下,渗透蒸发分离5%乙醇/水混合液,乙醇/水的分离系数αA/W达到40.3,通量J为0.83 kg/(m2·h).  相似文献   
9.
按照《施工现场临时用电安全技术规范》(JGJ46—1988)的规定:“临时用电设备在5台及5台以上或设备总容量在50kW及50kW以上者,应编制临时用电施工组织设计”。在编制临时用电施工组织设计时,常采用需要系数法进行负荷计算,下面介绍使用该法时负荷计算的方法。  相似文献   
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