高精度直径测量技术研究的新进展

直径是几何量测量的重要参量之一,无论工业应用还是在计量研究领域,探索高精度圆柱直径的测量方法具有重要的科学价值和应用前景。本文介绍了国内外研究机构在高精度直径测量技术领域取得的新成果,及各种测量方法的关键技术及其仪器在结构设计、光学设计等方面的特点。并根据目前直径测量技术的发展状况讨论了未来高精度直径测量技术的发展和研究趋势。     

高精度大长径比圆柱轴孔内外径测量系统研制

介绍一种非接触式测量大长径比精密圆柱轴孔内外径的方法,该方法基于移相干涉测量技术,研制的高精度内径及外径测量系统以一等量块作为标准,采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术相结合,实现精密圆柱件长轴外径及深孔内径的高精度非接触自动测量。     

X荧光光谱分析法在镀层厚度测量中的应用

基于X射线荧光光谱的基础理论,简要分析了能量色散X射线荧光光谱分析方法的工作原理及其在镀层厚度测量中的应用技术.通过对一组相同结构不同厚度标准片的实际测量,在薄膜厚度测量非线性数学模型条件下,通过评估测量中各种不确定度来源和大小,总结出校准标准片在总不确定度中起的主导作用,为实际测量应用中提高精度提供理论基础.     

高精度活塞直径测量的新进展

在总结了1999年及2003年两次活塞压力计基准国际比对活塞面积溯源测量经验的基础上,提出了一种实现活塞直径非接触测量的新方法.它是以一等量块作为标准,采用白光迈克耳逊干涉进行表面定位,激光干涉与移相干涉相结合实现活塞直径测量的方法,该方法的特点在于将显微移相干涉应用于尺寸测量,测量不确定度可达到10-6量级.该方法可以解决中国计量科学研究院建立并维护的覆盖250MPa以下压力量值所对应的活塞压力计基准的面积溯源问题,并为诸如航天航空、汽车制造、超精加工等对陀螺、高速旋转轴系等圆柱件尺寸、形状的测量提出高精度需求的行业提供了一种新的测量方法.     

激光干涉仪测长精度校准方法的研究

本文从激光干涉仪的工作原理出发 ,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析 ,从而提出了测长精度校准的不同方法特点 ,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法。     

微孔光纤测头的研制及应用

基于微孔测量中测头不能做得足够小的技术难题,文中提出采用标准多模通信光纤,按特定的工艺技术方法烧熔光纤测球,再进行封装制成测头,应用在微孔测量中.重点介绍了这种测头的技术参数和成形方法、原理,并对研制的φ0.1 mm光纤测头几何形貌进行实际测量,应用于φ0.6 mm小孔孔径的测量分析,标准偏差不超过0.5μm,取得了很好应用效果.     

步距规动态测量方法研究

步距规是一种典型的多量值面间距标准器,由于各工作面间相互阻隔,使步距规的校准具有一定难度.本文提出了一种新的测量方法,即应用光切显微镜的测量原理实现被测工作面的精确定位,给激光干涉比长仪提供了各个测量面的触发信号,从而实现了面间距的非接触动态连续测量.根据该方法研制了光学测头,并安装在激光干涉比长仪上进行了测量,分别对...     

微孔光纤测头的研制及应用

基于微孔测量中测头不能做得足够小的技术难题,文中提出采用标准多模通信光纤,按特定的工艺技术方法烧熔光纤测球,再进行封装制成测头,应用在微孔测量中。通过对研制成的6φ．1mm光纤测头几何形貌进行实际测量,并应用于φ0．6mm左右小孔孔径的测量分析,标准偏差不超过0．5μm,取得了很好的应用效果。     

移相干涉技术在活塞外径测量中应用

基于传统接触式测长仪器存在不足,通过对长度干涉仪测量原理方法的分析研究,提出采用移相干涉技术进行瞄准定位的方法,并应用在活塞外径测量系统中.通过实验验证:采用双移相干涉测头结构的活塞外径测量系统,对活塞表面瞄准定位的重复性较好,活塞外径系统测量不确定度达到0.1μm,移相干涉在高精度基准活塞外径测量中成功应用,具有较好的推广价值.     

水平陪检标准器镜面倾斜量测量方法的探讨

通过对水平陪检标准器机械结构的分析,得知引起水平陪检标准器（又名吊镜）镜面倾斜的因素,并对吊镜在不同摆位摆动时不同因素的影响做了分析,同时利用数学模型对这些影响因素进行推导,结合实验数据计算出吊镜摆差和转动轴倾斜引起的镜面倾斜角度,并溯源到水平面。最后对测量过程中影响不确定度的因素进行了分析。