纳米粉体制程在线粒径测量系统的研发

发展了一套在线光纤式动态光散射粉体粒径测量系统,作为纳米颗粒制程粒径参数测量与分析.工业上对纳米粉体性质均一性(Uniformity)要求较高,为了获得在线制备纳米粉体颗粒的精确粒径大小与分布,本研究由激光动态光散射(Dynamic Light Scattering,DLS)原理,利用光纤探头方式,研制了一套在线粉体取样与粒径测量系统,针对目前台北科大自行研发的真空潜伏纳米流体制程(SANSS)进行了系统整合与测试.本研究针对100 nm标准粒径大小的聚苯乙烯(Polystyrene)粉体进行系统测量能力评估,确定了研发系统测量准确度(Accuracy)与重现性(Repeatability).实验结果显示,研发系统测量的平均粒径最大误差值在8%以下,初步确定测量系统可有效地监控纳米流体制程,提供纳米粉体制程的重要在线信息.     

频闪白光干涉技术

频闪白光干涉技术（SWLI）能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统（MEMS）或微光机电系统（MOEMS）等振动样品测量中具有很高的实用性。传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决了这一问题。为了全面了解这一新开发的技术,本文介绍了理论、技术方法和该技术各种应用的实验结果及分析。该技术为MEMS、MOEMS甚至微纳尺度生物体动态行为的重建和分析提供了一种有效的方法。实验结果和分析表明所开发的技术在实际应用中具有良好的可行性和准确性。     

频闪白光干涉技术（英文）

频闪白光干涉技术(SWLI)能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统(MEMS)或微光机电系统(MOEMS)等振动样品测量中具有很高的实用性。传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决了这一问题。为全面了解这一新开发的技术,本文从理论、技术方法和该技术各种应用的实验结果及分析进行了介绍。该技术为MEMS,MOEMS甚至微纳尺度生物体动态性能的重建和分析提供了一种有效的方法。实验结果和分析证明了频闪白光干涉技术在实际应用中具有良好的可行性和准确性。