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随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程中,需同时具备高的稳定性(不发生互扩散反应)和低的电阻率。基于此,首先综述了目前无扩散阻挡层结构的研究现状及问题,然后对基于稳定固溶体团簇模型设计制备的无扩散阻挡Cu-Ni-M薄膜的研究工作进行了梳理,通过多系列薄膜微观结构、电阻率及稳定性的对比,深入探讨了第三组元M的选择原则及其对薄膜热稳定性的影响。为进一步验证稳定固溶体团簇模型的有效性,对第二组元的变化进行了相关讨论。结果证实,选取原子半径略大于Cu、难扩散且难溶的元素作为第三组元M,薄膜表现出良好的扩散阻挡能力;当M/Ni=1/12,即合金元素完全以团簇形式固溶于Cu基体时,薄膜综合性能达到最优,能够满足微电子行业的要求。所有研究表明,稳定固溶体团簇模型在无扩散阻挡层Cu合金薄膜的成分设计方面十分有效,该模型也有望在耐高温Cu合金及抗辐照材料成分设计方面推广使用。 相似文献
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平疫结合医院作为一种应对突发疫情的医疗设施,能够在正常时间段作为综合医院收治常规患者,在疫情发生时,快速转换为专门的传染病医院,有效避免传统综合医院和临时医院的不足.通过将平疫转换过程中的功能流线设计、应急场地设计、病房转换设计等与BIM正向设计相结合,医院的建设信息能够以可视化等方式在相关各方高效传递,从而提高参与者协同工作的效率.同时,某平疫结合医院的建设过程作为例子,被用以阐述基于BIM的正向设计方案及平疫结合设计.该案例充分利用了BIM模型数据进行设计优化与验证,保证了设计质量,提高了项目参与方协同工作的能力. 相似文献
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基于无线传感器网络的路由协议 总被引:12,自引:3,他引:12
把成百上千的价格便宜的微传感器节点组成网络,并且智能地把所有单个节点搜集到的信息融合,使用者就可以精确地采集远方区域上他感兴趣的信息。这些无线网络的路由协议必须健壮性很强,节省能量并且延迟很小。基于经典的LEACH(LowEnergyAdaptiveClusteringHierarchy)协议,提出了对它的改进:主要是使用了新的策略来确定最优的簇数目。最后,该文算法和多跳路由、直接路由、LEACH进行了仿真比较,结果证明使用该文算法后系统的生存时间增长。 相似文献
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为给出科学层面的"安全定义",从安全科学学的高度补充并完善刘潜先生提出的安全定义,提出新的安全定义:"安全是一定时空内理性人的身心免受外界危害的状态".基于此,分析新的安全定义的内涵与外延,并运用严谨的逻辑工具,推导出其他安全科学基础概念的定义.结果表明,由新的安全定义可推理演绎形成完整的安全科学概念群,这是其他现有的安全定义所不能实现的. 相似文献
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对传感器网络定位技术现状的研究 总被引:7,自引:0,他引:7
随着学术界对无线传感器网络研究的不断深入,传感器网络节点的定位成为当前的热点。其中主要分为两种类型算法,分别为range-free和range-based。这两种类型的定位算法各有优势和不足之处。为了研究算法发展趋势,文中通过比较几种典型的定位算法,指出了各自的优缺点。最后指出了定位算法的发展趋势:range-based的定位算法比range-free的算法更适合传感器网络小型化、低成本化的需求,应该得到更大的发展。 相似文献
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从现有网络测量系统不适于测量Diff-Serv网络性能进行分析,研究了DS域性能测量中关键技术,主要是根据DS域特点改进了适合各种业务类型的测量包构造、发送规律等技术,给出了适合不同PHB的路径测量的方法,并分析了测量配置策略,有效推进网络性能测量技术的发展。 相似文献
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