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在单晶硅加工中,硅片多线切割质量检测耗时和检测成本高造成硅片质量检测难。因此,提出一种基于生成对抗网络(WGAN-GP)数据处理与自注意力残差网络(SeResNet)的硅片质量预测方法。分析多线切割的机制,确定影响硅片质量的工艺参数,建立数据样本,使用WGAN-GP对样本数据进行数据增强。在此基础上,建立基于SeResNet的硅片总体厚度偏差预测模型。以硅片的多线切割加工过程监控数据为模型验证数据,对构建的硅片总体厚度偏差预测模型进行验证。实验结果表明:该模型具有良好泛化性和高准确率,有效解决了小样本数据下的预测难题,实现了平均相对误差小于10%的硅片总体厚度偏差预测,所以基于数据驱动的硅片质量预测来代替硅片加工中的质量检测具有重要的现实意义。 相似文献
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采用PID控制算法,以数字化控制模式取代传统的模拟电路控制模式,设计了以单片机为核心硬件的数字镜面露点仪.该设计可简化硬件电路,降低仪表成本,提高测量精度,在-40℃~20℃范围内,对标准湿度气源的测量误差≤0.2℃. 相似文献
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文中开发了基于嵌入式系统的SF6回收净化再生系统.同时,利用可编程控制器和现场总线技术实现对SF6气体自动化、全天候回收、净化、再生处理.实验和现场应用表明:该系统性能稳定、安全可靠、回收率高,回收净化后的SF6气体符合国家标准要求,提高了SF6电气开关和电力运行的可靠性和安全性,达到节能减排的效果. 相似文献
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为了满足火力发电厂高参数大容量机组对锅炉水微量磷酸根控制的要求,文中采用分光光度法,设计了基于嵌入式系统的多通道磷酸根离子在线监测仪.该系统选用工业级嵌入式微处理器AT9140800,利用嵌入式实时操作系统uC/OS对整个系统进行管理.该系统采用柱塞泵、单色冷光源双光路系统实现对炉水中的微量磷酸根检测.实验结果表明,该系统智能化程度高、工作稳定、测量精度高、重复性好,可以满足不同行业对微量磷酸根离子检测的需要. 相似文献
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镜面露点仪被广泛的应用于电力系统的生产中,基于自适应PID控制镜面露点仪可大大简化仪表的设计,并且可以提高系统的稳定性,也是自适应PID应用在仪表系统中的一个典型实例。 相似文献
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绝缘电阻与接地电阻测试系统的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了绝缘电阻和接地电阻测试的基本原理,设计了符合IEC6101标准的绝缘电阻、接地电阻测试系统,系统由程控电源、接地电阻测试回路、绝缘电阻测试回路、信号采样、调理电路和控制器系统等部分组成.实验表明,系统性能稳定,重复性好,能实现测量、控制、显示一体化. 相似文献
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基于ATmega128微控制器的智能在线硅酸根分析仪 总被引:1,自引:0,他引:1
采用化学吸光法检测原理,依据物质对光的选择吸收性质,通过化学反应使被检样水生成与硅酸根含量成比例的吸光物质,然后利用光电传感器将光源吸收前后强度差转换成电信号,经过A/D转换后,进入单片机读取并进行数据处理,实现了对水质硅酸根浓度的检测.系统测量精度高、功耗低、稳定性好,同时具有智能化处理和中英文操作的功能,并能通过4~20 mA标准电流和RS-485通信对测量结果进行远传. 相似文献