快速热生长二氧化硅的负偏压不稳定性(英文)

Negative bias-temperature instability in silicon dioxide films grown by a rapid thermal processing has been investigated. Rapid thermal oxide metal-oxide-semiconduc!or(RTOMOS) structures have a lower negative bias-temperature instabllity(NBTI) than the furnace oxide MOS structures, although the former has a higher NBTI than the latter at room temperature if both do not receive a post-metallization annealing. The effects of the temperature and time during the post oxidation annealing in argon, the cooling race after a rapid thermal processing and the temperature of post metallization annealing in forming gas on NBTI were studied. The rapid thermal post-oxidation annealing in argon has an ability to reduce the NBTI degree of either rapid thermal oxide or furnace oxide. The post metallization annealing in forming gas at 360℃ can eliminate the NBTI introduced by radiation during metallization, but could not get rid of the NBTI introduced by a post oxidation processing in oxygen. In addition, a kinetics of the flat-band voltage shift was observed oa rapid thermal oxide MOS structures, which helps understand the mechanism on NBTI.     

用微机械加工技术制备Clark小型型氧传感器

用微机械加工技术制备Clark小型型氧传感器     

对称体微机械电容加速度传感器的结构设计

描述了一种用无掩各向异性腐蚀技术制造以称体微机械梁，质量块加速度传感器的结构，由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上的消除了加速度传感器的横向灵敏度效应，在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度－频率积取优值的方法进行了加速计的结构参数优化，采用了一种新颖的微力微痊移天平测试方法。初步测量了加速度计结构的静态特性。     

悬桥式微流量传感器

本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术在硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅、ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１～１００ＳＣＣＭ的气体流量，其响应时间小于１０ｍｓ，芯片尺寸为７×６ｍｍ２。     

绝压式BESOI负压传感器研制

采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10~(-6)/℃(FS).     

用电导法测定Si-SiO_2低界面态密度和俘获截面

<正> 本文用国产仪器完成了电导法的测量装置,对氯化氢氧化的硅样品测量结果表明,能够可靠地获得界面态密度几乘 10~9cm~(-2)·eV~(-1)的测量数据和相应的俘获截面. 已知,N型衬底MOS电容中界面态的等效并联电导G_p为:     

利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究

提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法--波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究.实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过同时比较监控两通道的输出波形,可以确定器件的横向灵敏度.此方法简单可靠,并容易实施,对测试中产生的误差进行分析.     

高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析

文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法.采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度自由落下与放置在地面上的金属砧发生相互碰撞,利用双通道放大器和计算机数据采集系统同时记录两路信号.实验中分别对6 000 g和60 000 g的压阻加速度传感器进行了研究,该方法具有较好的重复性和可靠性,并分析了测试偏差来源对横向响应的影响.     

微机械电容式加速度计的开环工作模式

在微机械电容式加速度计中利用静电力反馈使加速度计处于闭环力平衡模式工作,能提高加速度计的线性度。本文阐述了静电力在开环工作模式中的作用,导出了相关的灵敏度公式,报导了实验结果和成功地将原闭环工作的±１ｇ 量程加速度计直接变为低量程的微机械电容式加速度计的实例,其量程为±０．０１ｇ,线性度优于０－２ ％ 。     

分度头检测加速度计时横向效应对线性度的影响

对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度。用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含在测量结果的非线性中。用非线性和横向效应都很小的加速度传感器作为试样,在分度头上人为安装有00、50和150的偏角时,检测到的非线性随偏角的增加而变大,与理论分析一致。利用高分辨分度头寻找能降低悬臂梁压阻式加速度传感器横向效应的基准面,以此基准面封装成的传感器的横向效应和非线性的综合效果小于0.05%。