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物理气相沉积(PVD)制备氧化铝涂层 总被引:2,自引:0,他引:2
Veith Schier Dave Doerwald 《工具技术》2006,40(1):84-85
1 引言 由于氧化铝薄膜具有令人关注的优异性能,如高温稳定性、化学稳定性、低的热导率和电导率等,目前利用化学气相沉积(CVD)涂覆氧化铝薄膜作为耐磨涂层材料已广泛应用于硬质合金切削刀片.它在其它领域没有得到广泛应用的主要原因是这类涂层的工业规模制备需利用高温CVD进行处理.虽然CVD处理方法有许多优点,但其最大的缺点是在处理过程中需要高温(1000℃). 相似文献
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运用物理气相沉积工艺在M2高速钢表面沉积了TiAlN涂层材料,用SEM和XRD等方法对涂层组织结构进行分析,并对涂层的性能进行了测试,结果表明,涂层显微硬度和耐磨性随基体温度上升而提高;在一定范围内,涂层显微硬度和耐磨性随氮流量变化而有一最佳值。切削试验表明,涂镀TiAlN的钻头使用寿命显著提高。 相似文献
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物理气相沉积技术的研究进展与应用 总被引:6,自引:0,他引:6
吴笛 《机械工程与自动化》2011,(4)
介绍了物理气相沉积技术的新工艺、新进展及其特点,总结了物理气相沉积技术的一些新应用.指出特殊功能复合膜的制备、复合膜的研究与应用以及超硬膜制备将是物理气相沉积技术今后研究的重点. 相似文献
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对冲头的材料成分、硬度、金相组织和生产工艺进行了分析,发现粗大、网状或半网状碳化物以及硬度偏低是造成冲头使用时脆性脱落和磨损变形早期损坏严重的根本原因.并提出了相应的改进措施。 相似文献
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由于各种难加工材料和日益严峻的加工条件,近几十年来,物理气相沉积涂层技术越来越受到人们的重视.结合物理气相沉积技术的工业应用现状,从物理气相沉积涂层设备的角度综述了物理气相沉积涂层刀具的主要技术,包括阴极电弧蒸发技术和磁控溅射技术及其混合技术,并介绍了影响涂层附着强度的等离子体刻蚀技术. 相似文献
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设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)_2和Re_2(CO)_(10)为前驱体,通过运载气体H_2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。 相似文献
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现代切削技术的发展对涂层刀具提出了愈加严苛的使用要求,且不同的难加工材料需要不同的定制化切削方案。无论是采用电弧离子镀还是磁控溅射工艺,传统单一涂层刀具已不能满足高速干式切削的加工需求。通过电弧离子镀与磁控溅射复合技术,制备具有超晶格结构的纳米多层涂层,不仅可显著提升涂层的力学性能、高温抗氧化性以及抗磨损性能,还能克服单一沉积工艺的技术缺陷。通过回顾电弧/溅射复合沉积的发展历程,总结了国内外的相关研究成果以及产业化进展,并分析了复合沉积工艺对涂层力学性能与切削寿命的影响。 相似文献
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针对40Cr钢氮化小齿轮轴成批脆性断裂进行失效分析,结果表明,小齿轮轴的宏观与微观断口均为脆性断裂,金相组织分析为正常的组织--心部为回火索氏体,表层为含氮索氏体组织。对脆性断裂的氮化齿轮轴加热至550℃后快速冷却,即消除了这种脆性,判定为回火脆性导致脆断。 相似文献
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邹晓昆 《机械制造与自动化》2010,39(5)
d12×1.5 mm无缝不锈钢管在工作中发生瞬间爆裂。采用环境扫描电镜、能谱分析仪现代分析手段进行分析后认为,d12×1.5 mm不锈钢无缝钢管材料局部存在冶金缺陷而使材料横向塑性、韧性下降是导致产生爆裂原因。 相似文献
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用射频磁控溅射法及一个由纯Ni和纯Al复合的特制靶材制备NiAl涂,层该涂层厚约10μm,硬度和弹性模量分别为11.52GPa和143.42GPa。研究表明,涂层的高硬度、低的表面粗糙度、较好的抗氧化性能及与基体间良好的粘附性能是涂层具有良好耐磨性能的主要原因。 相似文献
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通过光学显微镜、扫描电镜、能谱仪等手段对1Cr17不锈钢洗衣机滚桶开裂原因进行了分析。结果表明:其开裂性质为沿晶应力腐蚀开裂;开裂处晶界存在第二相是滚桶开裂的内因,母材成分中铬含量偏低降低了材料的抗蚀性能及韧性,开裂处存在内应力是开裂的外因。 相似文献
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随着PVD涂层技术的不断进步,切削刀具涂层材料由简单的单层二元向着多层多元纳米复合方向发展,并成为研究的热点。纳米复合涂层在成分上趋于多元化,结构上趋于多层化、梯度化、复合化,功能上软/硬结合。虽然目前大多数仍停留在实验阶段,但由于其具备高硬度、高耐磨性、高层间结合强度等综合机械性能,已经显示出了良好的应用前景。 相似文献