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相似文献
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1.
CVD生长金刚石薄膜衬底负偏压增强成核效应   总被引:1,自引:0,他引:1  
杨国伟  毛友德 《真空》1996,(1):30-34
基于已经得到的实验结果的分析,本文较详细地讨论了低压化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜过程中,衬底负偏压对金刚石成核的增强效应,明确阐述了负偏压增强成核的作用机理,并且讨论了这种效应作为提高金刚石在非金刚石衬底表面成核密度的一种方法所具有的优点以及存在的不足。  相似文献   

2.
偏压对金刚石薄膜选择性成核和生长影响的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用偏压增强MPCVD法成功地实现了金刚石薄膜在附有SiO2掩膜图形的镜面抛光的Si(100)上的选择性织构生长,列举了最佳偏压成核与选择性生长条件,SEM和Raman光谱对所得样品进行了表征,并对偏压对选择性成核和生长的影响机制进行了探讨.  相似文献   

3.
用热丝CVD的方法在3英寸的硅衬底上生长均匀的金刚石薄膜。应用了在热丝上方加石黑电极,在形核阶段相对于热丝施加一直流负偏压的预处理方法,使金刚石的成核密度达到10^10-10^11/cm^2,在3英寸镜面抛光的硅衬底上制备了平整的金刚石薄膜,生长的薄膜用SEM及喇曼光谱进行了测试。实验发现电极的位置是影响金刚石薄膜均匀性的重要因素。  相似文献   

4.
SiC在异质衬底生长金刚石膜的作用分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
利用扫描电子显微镜 (SEM)、Raman光谱分析了Si衬底上金刚石膜核化和生长的过程 ,并着重分析了核化过程产生的SiC的性能。利用划痕法测量了在WC衬底上沉积SiC和未沉积SiC时生长金刚石膜的粘附力 ,同时还分析了WC衬底上有和没有SiC沉积层时表面附近金刚石膜的内应力。结果表明 ,SiC层大大地增强了含碳粒子的聚集和金刚石膜与衬底之间的粘附性 ,降低了金刚石膜与衬底之间的内应力  相似文献   

5.
利用热丝CVD方法研究了横向偏压对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验表明,随着偏流的增加,金刚石在光滑硅衬底上的成核密度得到显著提高,最高可达 1.1×10cm-2,但是横向偏压不利于金刚石薄膜的生长.原位光发射谱研究发现,横向偏流的增加提高了原子氢和CH基团的浓度,导致衬底表面非晶碳层的形成,这可能是造成横向偏压促进金刚石成核却不利于金刚石薄膜生长的主要原因.  相似文献   

6.
CVD金刚石成核的最新研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了化学气相条件下金刚石在非均匀研磨硅基底表面及镜面基底和均匀研磨基底边缘及角域处的成核行为。发现CVD金刚石成核不仅依赖于沉积区缺陷,更主要由缺陷的锐度决定,即缺陷加强CVD金刚石成核的锐度效应。在对无序碳上CVD金刚石成核研究的基础上,讨论了CVD金刚石成核的机理,并由此阐明了各种表面预处理及负偏压等增强CVD金刚石成核的微观过程。  相似文献   

7.
室温下,利用磁控溅射在P型Si(100)衬底上沉积了Cu膜。利用原子力显微镜(AFM)对较短沉积时间内制备的样品形貌进行了观测,研究了磁控溅射沉积Cu膜时Cu在Si衬底上沉积成核的演化过程。随着沉积的进行,Si基表面的成核密度随着时间的增加而增大;核长大增高为岛状,岛与岛相互连接构成岛的通道,最后形成连续膜。在溅射到15 s时,发现奇异现象。  相似文献   

8.
在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜.利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的状态.结果表明,该薄膜下层颗粒粗大,是微米级的金刚石,上层颗粒细小,是纳米级的金刚石,薄膜表面平整光滑;薄膜的附着力与纳米金刚石沉积时间的长短有关,当沉积时间为2 h时,薄膜与衬底的结合力最好.  相似文献   

9.
王必本  王波  朱满康  张兵  严辉 《功能材料》2004,35(Z1):2866-2869
利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统,在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFc的Si衬底上制备得到了碳纳米管.研究发现,负偏压对NiFe层的裂解和碳纳米管的生长都有很大的影响.本文详细分析和讨论了负偏压在碳纳米管生长过程中的作用.  相似文献   

10.
用AFM研究硅基上沉积铜膜生长过程   总被引:2,自引:2,他引:2  
包良满  曹博  李公平  何山虎 《真空与低温》2005,11(3):159-161,186
室温下,利用磁控溅射在P型Si(111)衬底上沉积了铜(Cu)膜.用原子力显微镜(AFM)对不同沉积时间制备的Cu膜形貌进行了观测,研究了磁控溅射沉积Cu膜时膜在硅衬底上成核和生长方式.Cu膜在Si衬底生长时,Cu的临界核以Volmer-Weber模式生长.溅射时,核长大增高为岛状,岛与岛相互连接构成岛的通道,最后形成连续膜.随着沉积的进行,Cu膜表面粗糙度由于晶粒凝聚和合并而增大.当形成连续致密的、具有一定晶向的Cu膜时,粗糙度反而减小.  相似文献   

11.
针对采用线性无油直流压缩机的单门直冷式冷藏箱,试验分析蒸发器结霜对箱内温度波动幅度及开机率的影响,结果表明:蒸发器表面结霜会使箱内平均温度升高约1℃,蒸发器与箱内温度波动幅度均减小;调整至相同的箱内温度,蒸发器结霜可以使开机率降低0.9%~2.5%,从而降低系统能耗。  相似文献   

12.
郑亮  金张英  程鹏飞 《包装工程》2012,33(23):114-119
借助墨滴观测仪和工业显微镜,获取了墨滴在撞击纸张前后的状态及数据。在测量喷墨记录点亮度数据的基础上,分析了纸张表面的喷墨记录点扩展。定义了喷墨记录点内外边缘对应的反射系数,并验证了其可行性。讨论了影响喷墨记录点大小、形状、模糊度的因素,计算了不同承印材料的墨滴扩展比。  相似文献   

13.
建立了某高速列车动力学模型及该列车一系悬挂阻尼三维结构原理图,基于该结构研究了列车一系悬挂阻尼常见的失效形式,并仿真分析了一系悬挂阻尼发生故障对车辆运行品质的影响。研究结果表明:一系悬挂阻尼常见故障主要由骨架密封磨损严重、O型圈老化严重、油液乳化等引起;当每辆车1个或每辆车2个一系悬挂阻尼发生故障,车辆横向及垂向平稳性受影响较小,其指标恶化率小于5%,但对舒适性有一定影响,舒适性指标恶化率最高可达15%;当车辆一系悬挂阻尼全部发生故障,其运行品质存在显著恶化,而舒适性恶化最为严重,其指标恶化率达186%。  相似文献   

14.
为了改善金属相在金属陶瓷惰性阳极中的分布以改善阳极材料的性能,对国内外通常采用的镍铁尖晶石粉末制备惰性阳极的工艺进行了改进,原料不是完全采用细粉,而是采用粒度级配,大小不同的颗粒配合起来使用.研究发现,采用粒度级配制得的试样性能比不采用粒度级配制得的试样性能要好.尤其重要的是对于一定规格的试样采用合适的粒度级配,金属相Ag在陶瓷基体中分布呈明显的网状分布,金属相分布状态的优化有利于试样各方面性能的提高.  相似文献   

15.
基于Web的产品信息发布技术研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
与传统的产品宣传手段相比,基于Web的产品信息发布系统以其独有的优势正成为目前国内外企业推广产品的主要方式。阐述了基于Web的产品信息发布系统的概念和特点,对客户机/服务器模式和浏览器/服务器模式的优、缺点进行了比较。概述了XML、Flash、Cult3D和Viewpoint等网络产品信息发布相关技术的发展现状、特点及应用,对今后基于Web产品信息发布方式的方向进行了展望。  相似文献   

16.
在各级政府质量奖的推动下,卓越绩效模式(PEM)在广东省大范围地推广开来.研究如何有效地为企业导入卓越绩效模式,在导入工作前期具有非常重要的意义.本文探讨了“创建标准化良好行为企业(GSP)”对导入PEM的基础性和支撑性作用,确立了以GSP为基础导入PEM的工作模式.  相似文献   

17.
尹海川  柳清菊  林强 《功能材料》2005,36(12):1934-1937
制备并研究了纳米TiO2和Pt掺杂纳米TiO2对蓝藻生长的影响。结果表明,在太阳光照射下,Pt掺杂纳米TiO2能够破坏蓝藻藻囊;与纳米TiO2相比,Pt掺杂纳米TiO2能够更有效地使蓝藻内叶绿素含量、光合速率和呼吸速率以及超氧化物岐化酶(SOD)活性降低,超氧自由基增多;当Pt掺杂量为1%时,掺Pt纳米TiO2对蓝藻的抑制效果最好。  相似文献   

18.
In this article we investigated the effect of solvents (CCl4, CH3CN, DMF, ethanol, ethanol-H2O and H2O) on self-assembly of Thioctic acid (TA) and Mercaptohexanol (MCH) on gold by cyclic voltammetry (CV) and electrochemical impedance spectroscopy (EIS). Electrochemical characteristics of TA and MCH self-assembled monolayers (SAMs) formed in different solvents were evaluated by inspecting the ions permeability (interfacial capacitance C and phase angle Ф1 Hz) and electron transfer capability (current density difference Δi and charge transfer resistance Rct). Experimental results indicated that the ability of solvents availing the ordering of SAMs was: for TA, CCl4 > ethanol > CH3CN > ethanol-H2O > DMF; for MCH, H2O > ethanol-H2O ≈ CCl4 > ethanol ≈ CH3CN > DMF. Through relating the C, Ф1 Hz, Δi and Rct of SAMs (TA and MCH) with parameters of solvent (polarity ETN, solubility parameter δ and octanol/water partition coefficients logPow), it was found that solvents with bigger logPow (smaller ETN and δ) availed the ordering of TA-SAMs but the effect of solvents on MCH self-assembly was complex and MCH-SAMs formed in H2O (the biggest ETN, δ and the smallest logPow) and CCl4 (the smallest ETN, δ and the biggest logPow) were more ordered than in other solvents.  相似文献   

19.
尹海川  柳清菊  林强 《功能材料》2005,36(11):1718-1721
制备了纳米TiO2和Ag掺杂纳米TiO2,研究了二者对抑制蓝藻生长的影响。结果表明,在太阳光照射下,Ag掺杂纳米TiO2能够破坏蓝藻藻囊;与纳米TiO2相比,能更有效地使蓝藻内叶绿素含量、光合速率和呼吸速率以及氧化物岐化酶(SOD)活性降低,超氧自由基增多;当Ag掺杂量为1%时,掺Ag纳米TiO2对蓝藻的抑制效果最好。  相似文献   

20.
董越  杨晓炳  高谦 《材料导报》2018,32(18):3128-3134
通过对不同孔隙特征的加气充填混凝土试样沿发气方向进行切割和截面图像提取,采用Matlab对试样截面图像进行分析和统计计算,分别对各组试样的孔隙特征进行了表征;测试了试样各养护龄期的比强度、吸水率、体积膨胀率、冻融后的抗压强度损失率和质量损失率,以分析孔隙特征对加气充填混凝土力学性能和抗冻性的影响。结果表明:采用图像法对加气充填混凝土截面照片进行信息采集,通过Matlab的统计计算,可实现对该加气充填混凝土宏观孔和细观孔的信息提取与表征;大于5.00mm的孔隙占比越大,平均孔径差值c越大,反映出联通孔的相对数量越多,则试样的比强度越低,吸水率越大,体积膨胀率越小,抗冻性越差,反之,试样的比强度越高,吸水率越小,体积膨胀率越大,抗冻性越好;以两种细度混合的铝粉膏作为引气剂可以有效降低该加气充填混凝土连通孔的相对数量。  相似文献   

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