电致伸缩微动工作台匀速运动的实现

运用ＰＣ－ＸＴ微机控制电致伸缩微动工作台，实现了微动工作的匀速平移。其行程为４．５μｍ，最小步距为０．０３μｍ，运动速度在０．０３～０．１５μｍ／ｓ的范围内可凋。在４．５μｍ行程内，工作台水平位移量小于０．１μｍ。     

微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度分析

研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动工作台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析。试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位精度优于±０．５μｍ，可作为一般微机械系统中的精密工作台。     

公差为7μm的工作台平面度的检定方法

通过误差分析与计算，论证了０．０１ｍｍ／ｍ合象水平仪不能满足公差为７μｍ的机床工作台平面度检定精度要求，采用０．００５ｍｍ／ｍ自准直仪或电子水平仪可获得满意的检定精度结果。因此正确选择检定仪器，对于保证机床工作台检定质量尤为必要。     

精密工作台定位控制系统的设计与研究

研制了一种大行程精密工作台定位控制系统。提出用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法来完成对工作台的定位控制，利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测，最后由计算机完成系统总体控制。本系统工作行程 ５０ｍｍ，定位精度±０． １μｍ。     

信息技术融入现场总线

１推动力１．１技术因素近些年来，半导体技术飞速发展，大规模集成电路取得长足进步。目前ＰｅｎｔｉｕｍⅡＣＰＵ的光刻线宽已达０．２５μｍ，预计到２００２年将发展到０．１μｍ，而到２００５年更达０．０７μｍ，这就意味着微处理器和存储器的集成度将更高、功能将...     

大面积液晶面板光刻机新型工作台设计

论述曝光面积可达３３５．６ｍｍ×３５５．６ｍｍ（４″×１４″），套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５μｍ）液晶面版光刻机的新型工作台设计。     

双焦干涉球面微观轮廓仪

本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪，仪器三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统，五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面的无损精密材料。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｍｍ，横向分辨率小于２μｍ。     

一种新型非接触式光纤振动传感器的研究

利用非本征的Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ（Ｆ－Ｐ）光纤干涉仪以及双光源,通过位移与距离的同时检测,实现了振动过程的非接触测量。本方案结构简单,信号处理方便。实验结果表明,在１ｍ ｍ 的范围内可达到分辨率０．０１μｍ,精度０．１μｍ 。     

浅谈金刚石刀具在超精密加工中的应用

浅谈金刚石刀具在超精密加工中的应用首钢庆华工具厂赵峥嵘一、前言超精密加工是六十年代，由美国开发出来的一门高新技术。它主要指被加工零件具有以下特征：１．表面粗糙度Ｒａ＜０．０１μｍ，Ｒｚ＜０．０５μｍ。２．廓形偏差（ｐｕｆｉｌｅｄｅｖｉａｔｉｏｎ）＜０...     

用DBHQ非萃取分光光度法测定合金和环境,生物和土壤样品中的钒（V）

本文介绍一种在稍微酸性的溶液（０．０００１５－０．０１６ｍｏｌ＾－１Ｈ２ＳＯ４）中，用５．７－二溴－８－羟基喹啉（ＤＢＨＱ）作新型分光光度试剂，快速测定钒（Ｖ）的超灵敏和高选择的非萃取分光光度法。反应是瞬时的，吸光度保持稳定超过４８ｈ。发现平均摩尔吸收系数和Ｓａｎｄｅｌｌ灵敏度分别为６．１×１０＾３ｌ ｍｏｌ＾－１ｃｍ＾－１和０．０１５μｇ ｃｍ＾－２Ｖ（Ｖ）。获得了０．１－２０μｇ ｍｌ＾－１（     

Al2O3—TiC系陶瓷的组织结构和性能

Ａｌ２Ｏ３－ＴｉＣ系陶瓷由Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＣ和金属粘结相组成。陶瓷组成为骨架结构相互穿插结合。其颗粒大小为０．５０－１．０μｍ，在ＴｉＣ颗粒内存有细微亚结构，它的尺寸为０．１０－０．２０μｍ。     

内孔磨削加工与滚压加工的细比较

对内孔的磨削加工与滚压加工工艺进行了比较，分析表明对Ｒα０．０４μｍ￣Ｒα１．６μｍ范围定型产品批量生产时，滚压加工工艺比磨削加工工艺具有更多的优点。     

优化陶瓷膜孔结构的新型浆料分散剂

固态粒子烧结法制备无机膜管时，两性表面活性剂是浆料的良好分散剂，能优化无机膜的孔结构。浆料中添加０．５％的两性表面活性剂卵磷脂，可有效地防止浆料中氧化微粒的聚集，制备了孔径基本呈正态分布的氧化铝膜管，最可几孔孔径为０．１μｍ，孔径范围为０．０５－０．１８μｍ，用作微滤或支撑体膜管。本文为广东自然科学基金项目。     

超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构

文章从理论上分析了中心高微调机构对光学零件加工精度的影响。设计研制了高精度的中心高微调机构,并进行了系统标定,在２ｍｍ的调整范围内能实现０．１μｍ的精确微调。该微调机构用于超精密磨削光学非球面的中心高微调。磨削结果表明,其磨削加工的零件轮廓精度为０．２μｍ,表面粗糙度为Ｒａ０．０１μｍ。     

微机精化补偿技术在大齿轮齿形精度就地测量系统中的应用

本方法可使线、圆感应同步器装置的测量误差分别由±７．５μｍ和±１．８″减小到±１μｍ和±０．４８″，显著地提高了测量系统的测量精度及可靠性，使该系统可以满足在普通齿轮加工机床上对５～６级大型齿轮齿形精度的测量要求。     

Al_2O_3－TiC系陶瓷的组织结构和性能

Ａｌ２Ｏ３－ＴｉＣ系陶瓷由Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＣ和金属粘结相组成。陶瓷组织为骨架结构相互穿插结合。其颗粒大小为０．５０～１．０μｍ，在ＴｉＣ颗粒内存有细微亚结构，它的尺寸为０．１０～０．２０μｍ。Ａｌ２Ｏ３－ＴｉＣ界面结合紧密．但不完全匹配。该陶瓷材料硬度为２４ＧＰａ和９３．７０ＨＲＡ。根据压痕法测得的有关参数，计算所得ＫＩＣ值为５．８６ＭＰａ·ｍ１／２。文中讨论了克服该系陶瓷脆性和提高其韧性的途径。该陶瓷已广泛用于制造切削刀具。     

粗糙度由Ra0．32μm直接加工到Ra0．008μm

粗糙度由Ｒａ０．３２μｍ直接加工到Ｒａ０．００８μｍ机械部北京机床研究所超精研她技术（第一代技术）１９８８年已获得国家发明奖，现开发第二代技术为用户服务，它比第一代技术有更高的效能如下：（１）工效又提高４倍，是研磨的６０倍左右。．（２）单面镜平面加工...     

超薄壁金属筒的成形加工

针对壁厚为０．０１ｍｍ￣０．１ｍｍ的超薄壁金属圆筒成形加工的要求,研制了一台有微机控制功能的精密成形试验机,使冲头与凹模在加工过程中的对中精度达到１μｍ。利用这台试验机,对初始壁厚为０．３ｍｍ的黄铜和纯铝筒进行了一系列变薄拉延加工试验,加工出内径为１５ｍｍ,壁厚为壁厚达到０．０１５ｍｍ。初步检测表明,成形后的超薄壁筒壁厚偏差小于２μｍ,内径尺寸精度与冲头的加工精度相同,表面粗糙度Ｒａ为０．０５７μ     

脉冲式分子束阀及控制器的研制

叙述了脉冲式分子束阀及脉冲式分子束阀控制器的研制。控制器提供内／外触发选择，触发延时０．０５－３．０ｍｓ（８档可选），开阀时间０．１－１．５ｍｓ（８挡可选），开阀脉冲控制０．０５－１．０ｍｓ（８挡可选），关阀及反冲控制０．１－１．０ｍｓ（连续可调），并有同步脉冲输出和驱动电流监测。本装置产生的脉冲分子束流可满足同步辐射实验室的需要，控制器还可用于其它气阀的控制。     

维修大重型机床的一点经验

维修大重型机床的一点经验富春江水工设备总厂吴启新在大重型机床中，常要用较长的轴来传递扭矩。如Ｂ１０１２Ａ单臂刨床工作台往复移动的传动轴长１．８１ｍ，Ｗ１Ｙ３Ｔ型滚齿机工作台旋转传动轴长２．４９ｍ，这类轴的载荷虽不大，但修理时更换的次数却不少，这引起了...