微细电解加工技术的发展现状

结合近些年国内外微细电解加工技术的研究进展,论述了微细电解加工技术在微细机械加工领域取得的最新研究成果,如脉冲微细电解加工、掩膜微细电解加工、微细电解铣削加工、复合电解微细加工等,这些成果在未来的微细电解加工领域应用将更为广泛,具有很好的使用价值。     

微细电解加工机理探讨

介绍了微细电解加工技术的原理和特点，通过对其加工工艺的分析，简述了在微细电解加工过程中，影响其加工速度、精度、效率的主要因素，并通过对这些因素的综合分析，总结了制约微细电解加工技术应用的因素和进行微细电解加工应具备的基本条件。最后，针对微细电解加工技术的现状，对其发展提出了新的展望。     

微细电解加工技术研究现状与展望

对近年来微细电解加工领域的研究现状和发展趋势进行了概述,包括微细电解加工的基础理论、微细电解加工技术和加工装置、影响因素与极间间隙检测控制,以及关键技术和今后的发展方向.     

超声协同气膜屏蔽微细电解铣削加工技术研究

为了改善微细电解铣削加工存在的加工效率低和水跃现象导致的杂散腐蚀等问题,提出在电解加工过程中引入超声场和气流场的超声协同气膜屏蔽微细电解铣削加工技术,并探索不同加工参数对材料去除效率、工件加工质量的影响规律。结果表明:相同参数下,超声协同气膜屏蔽微细电解铣削加工的微槽平均宽度相较于超声辅助微细电解加工降低11.69%、微槽平均深度相较于气膜屏蔽微细电解加工增大28.56%,验证了该技术的加工可行性与优越性;在电压10 V、气压0.03 MPa、脉冲频率120 kHz、扫描速度0.36 mm/min、振幅8μm时,超声协同气膜屏蔽微细电解铣削加工技术能加工出精度较高、侧壁锥度较小的微槽结构。     

基于静电驱动的微细电解加工技术

利用电容两极板间的静电力可促使两极板相互靠近的特点,提出了基于静电驱动的微细电解加工技术,并设计了静电驱动微细电解加工装置。分析了电解液浓度和电源频率对加工间隙的影响,并进行了二维结构、阵列柱状结构的静电驱动电解加工实验。结果表明:采用静电驱动技术实现电极的微进给,能使加工间隙达到微细电解加工的要求;通过控制电源的脉宽和频率,能实现自适应电解加工的目的。     

制作微器件的超声电解复合微细加工基础研究

提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工；设计微细加工工艺系统，进行一系列微细加工基础工艺试验，验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性．展示了该技术在提高微细加工精度、效率、表面质量等方面的优势，研究成果对完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。     

可调整角度的电解加工系统的开发

为解决微细电解加工过程中不溶性电解产物排出和反应产生的气体逸出问题,设计一种可调整角度的微细电解机床,改善了微细电解加工状况.介绍该微细电解机床基本工作原理,机床的结构、性能、规格以及控制系统的功能.试验结果表明,该加工系统能在立式和卧式两种角度进行微小孔的微细电解加工.     

微细电解铣削加工技术研究进展及展望

微细电解铣削加工技术具有工具电极无损耗、加工柔性高、与工件材料硬度无关等特点,在金属微结构器件制造领域展现出极具诱惑力的应用前景。通过综合国内外文献资料,按照不同的电解液供给方式介绍微细电解铣削加工技术的研究进展,分析微细电解铣削加工相关技术研究中存在的不足,并展望该领域的未来发展趋势。     

基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究

基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势.     

某型航空发动机燃油喷嘴旋流室的微细电解加工研究

针对某型航空发动机燃油喷嘴结构尺寸微小、材料硬度较高、切削加工困难等问题,介绍了微细电解加工的原理和实验装置,制备了微细棒状工具电极和三角形钩状成形电极,利用分层电解铣削进行粗加工快速去除工件多余材料,再利用环形扫描电解铣削进行旋流室全锥面的精加工,实现了发动机喷嘴微小尺寸旋流室的微细电解加工成形,达到加工精度和表面质量要求。研究表明,微细电解铣削加工是加工金属材料微小结构的有效可行的方法。     

综合改善微细电解加工精度的工艺研究

电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高.分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径.理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度.     

特种加工技术的最新进展和研究热点

综述了特种加工技术的最新进展，简要介绍了电火花加工、电化学加工、激光加工、电子来加工、水射流加工和快速成形的研究现状，指出特种加工技术的微细化、复合化和自动化等内容是当前的研究热点。     

Micro electrochemical machining for complex internal micro features

In this paper, the application of micro electrochemical machining (ECM) for the micromachining of internal features is investigated. By controlling pulse conditions and machining time, micro features are machined on the side wall of a micro hole. These methods can easily machine a micro hole with larger internal diameters than the entrance diameter, which is very difficult to do by the conventional processes. A micro disk-shaped electrode with an insulating layer on its surface is also introduced to machine microgrooves inside the hole. This method is similar to the turning lathe process. The purpose of this study was to confirm the various possibilities of making complex internal structures in a micro hole by micro ECM.     

纳米技术与特种加工

对纳米技术与特种加工进行了简要的分析和讨论，内容包括：微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削、基于扫描探针技术的纳米加工等。     

微细电化学加工电源的设计与研究

加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块，其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路；软件模模包括驱动程序和控制程序。该电源系统可产生多种波形，且能实现对加工过程的自适应控制，从而满足微细电化学加工工艺研究的需求。     

从ISEM-XV看特种加工技术的最新进展

通过对发表在第十五届国际电加工会议(ISEM-XV)上的主要论文进行综述,多方位地介绍了近年来国际特种加工学术界的最新研究成果,其中基础研究、新工艺方法、微细加工、电化学加工、激光加工、复合加工等方面的新成果会对有关研究起到积极的启示作用.     

特种加工技术最新研究进展——第16届国际电加工会议论文综述

通过对第16届国际电加工会议论文进行综述,介绍了近几年来国际特种加工领域的最新研究进展.主要概括了电火花加工、电化学加工、电化学放电加工及激光加工等研究成果.     

微细电加工脉冲电源的研究进展

脉冲电源是微细电加工的一个重要研究方向,其性能指标直接影响加工精度和表面质量,从微细电火花加工和微细电解加工用的脉冲电源两方面出发,介绍其主要研究方向及国内外发展现状,并详细分析了其工作原理.     

微细电加工应用技术研究

微细电加工要达到工业应用的目的,需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求.以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发.设计出微细电极的损耗补偿进给和导向机构,开发出三维微细结构的电火花伺服扫描加工工艺,研究了采用阵列微细电极的微细电化学加工方法.微细孔电火花加工可连续加工直径小至100 μm的孔.伺服扫描电火花加工可便捷地在小于1 mm2区域内加工出三维微细结构.提出的微细电化学加工技术路线拟将微细电解加工应用于阵列微细孔和三维微细结构的加工.     

微细电火花加工技术在组合加工中的应用

概述并分析了微细电火花加工技术的发展现状及遇到的问题.介绍了微细电火花加工技术与其他微细加工技术相互组合,完成微小零件制造的各种工艺方法.