影响磁盘光刻图形质量的因素分析

本文叙述了影响光刻伺服图形质量的各种因素，主要可分为磁盘光刻过程中半导体工艺产生的质量误差和机械定位不准产生的伺服图形偏心误差，并提出了消除产生误差的可行措施。     

微位移定位系统在磁盘光刻伺服图形中的应用

本文叙述了应用微位移定位系统实现磁盘光刻伺服图形的精确定位，有效地提高磁盘存储器的道密度，这种方法将成为开发新一代大容量磁盘存储技术，有着良好的发展前景     

微位移定位系统在磁盘光刻伺服图形中的应用

本文叙述了应用微移定位系统实现磁盘光刻伺服图形的精确定位，有效地提高磁盘存储器的道密度，这种方法将成为开发新一代大容量磁盘存储技术，有着良好的发展前景。     

光刻磁盘伺服码形技术

利用半导体精微集成技术,将现有多相伺服砖转化为磁盘光刻伺服图形,这种伺服编码形式能够反映磁头位置编码磁化翻转,供磁头快速定位、跟踪、找道、读出伺服信息,进一步提高了磁盘的道密度。     

光刻磁盘伺服码形技术

利用半导体精微集成技术,将现有多相伺服码转化为磁盘光刻伺服图形,这种伺服编码形式能够反映磁头位置编码磁化翻转,供磁头快速定位、跟踪、找道、读出伺服信息,进一步提高了磁盘的道密度。     

磁盘预光刻自动调焦控制系统的设计

本文论述了光头调焦控制系统的研制过程，对光刻伺服磁盘几种调焦误差信号形成方法进行了讨论和实验分析。结果证明，该系统能使激光光束通过光头后良好地聚焦于磁盘表面，达到光刻要求。     

磁盘预光刻自动调焦控制系统的设计

本文论述了光头调焦控制系统的研制过程,对光刻伺服磁盘几种调焦误差信号形成方法进行了讨论和实验分析。结果证明,该系统能使激光光束通过光头后良好地聚焦于磁盘表面,达到光刻要求。     

DVD播放循迹伺服研究

循迹伺服对于DVD播放器稳定准确从光盘上读出起着重要作用。本文介绍了DVD播放器循迹伺服的误差信号产生，控制原理及特性要求，以实际应用为目的全面探索了循迹伺服的参数调整方法，据此使DVD播放器产品达到了商品化。     

磁盘预光刻伺服图形离子刻蚀分析

用离子溅射对磁盘预光刻的何服图形进行干法刻蚀，得到了微米级和亚微米级凹坑的勾槽图形，这对超高记录密度磁盘驱动器的研究具有重要意义，为提高磁盘记录密度开辟了新途径     

国外光刻胶及助剂的发展趋势

光刻是半导体产业常用的工艺．借助光刻胶可将印在光掩膜上的图形结构转移到硅片表面上。光掩膜制备也是一个光刻过程，不过其所用化学品不同。     

高道密度磁头定位技术的研究

随着光刻伺服磁盘道密度的提高,要求必须具有定位精度高的驱动定位系统相匹配。本文磁头驱动定位系统中采用了电致伸缩陶瓷和压电陶瓷微位移器作二级定位技术,提高了磁头定位精度。     

高道密度磁头定位技术的研究

随着光刻伺服磁盘道密度的提高,要求必须具有定位精度高的驱动定位系统相匹配。本文磁头驱动定位系统中采用了电致伸缩陶瓷和压电陶瓷微位移器作二级定位技术,提高了磁头定位精度。     

力高塑料机械有限公司推出直接驱动的日本“住友”——电动注塑机

力高营业主任邓应球先生表示，住友的电动注塑机的特点就是伺服电动机直接驱动整台注塑机，没有任何误差，比普通用皮带带动的注塑机还好。住友自行开发伺服马达，不经皮带传动，把滚动丝杆直接伺服马达的轴芯，     

高玻璃化温度化学增幅光致抗蚀剂的制备

本文合成了一种具有高玻璃化温度的苯乙烯和Ｎ－（４－羟基苯基）马来酰亚胺的共聚体,并将其应用于紫外负性水型化学增幅抗蚀剂中,并初步确定了该光致抗蚀剂的光刻工艺操作条件,得到了分辨率为１．３９μｍ的光刻图形．     

高玻璃化温度正性光致抗蚀剂成膜树脂—苯乙烯与N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺共聚体

本文叙述苯乙烯与N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺共聚体的合成方法,并用它作为重氮萘醌系紫外光致抗蚀剂成膜树脂,得到了高分辨率(1.6μ)的正性图形,光刻图形的耐热形变温度达到了240℃以上。     

先进制程用光刻胶及TMAH显影液的改进

光刻是一种利用曝光、显影和刻蚀等工艺将光掩模上的图形转移到衬底材料上的工艺,是半导体器件制造工艺中的重要步骤。其中,在光刻胶层刻画图形时,主要涉及材料为光刻胶、显影液。在G线(436 nm)、I线(365 nm)光刻工艺中,光刻胶主要是酚醛树脂-重氮萘醌体系,显影液一般采用2.38 wt%的四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液;在193 nm、极紫外(EUV)光刻工艺中,光刻胶主要为含有酯基的聚合物-光致产酸剂(PAG)体系,此外由于接触的界面张力以及膨润问题,显影液中需要加入非离子表面活性剂。本文主要介绍几种先进光刻工艺中的光刻胶和显影液。     

在5m^3聚合釜中试生产稀土异戊光刻原胶

采用５ｍ＾３聚合釜进行稀土催化系合成异戊光刻原胶的试生产。试生产结果验证了中试成果。双螺带锚式搅拌器结构的聚合釜适用于稀土异戊光刻原胶的工业化生产。借聚合反应热可提高聚合反应温度，这样既降低能耗又缩短了聚合反应时间，并提高聚合釜生产能力。聚合釜的容积比中试聚合放大９倍，无明显的放在效应，且可使聚合反应操作更富于弹性。工业试生产的光刻原胶质量符合部合同要求。     

甲酚醛树脂—HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究

本文利用二苯碘盐为光敏产酸物,吩噻嗪为敏化剂,配制了一种甲酚醛树脂———六甲氧基甲基三聚氰胺（ＨＭＭＭ）负性水型紫外化学增抗蚀剂,并研究了光敏产酸物和增感剂对体系光敏性的影响及体系中存在的拉平效应,通过优化后的光刻工艺条件得到了分辨率为１．２４μｍ的光刻图形．     

住重塑胶机械（香港）有限公司

住重塑胶机械（香港）有限公司营业部经理杜俊德表示，住友独家开发制造的高精密度伺服马达，与技术表率的全闭回路控调组合，即是SE-S系列，展现出高性能的表现，住友的电动注塑机的特点就是伺服电机直接驱动整台注塑机，没有任何误差，比普通用皮带带动的注塑机还好。住友自行开发伺服马达，不经皮带传支，把滚珠丝杆直接伺服马达的轴芯，即是把伺服马达造成锁模机构和注射机构的结构的一部分，因而可作出直接的驱动。     

快速捕捉轻零件的伺服机器人

美国Wittmann公司(康涅狄格州托灵顿城)，推出了一个新型顶部出口的全伺服机器人，该机器人能以极快速度切削薄壁零件(例如手机组件)。样机W621 UHSS(超高速伺服)是一个新型的三轴样机，有效载荷为6．5磅，塑件卸取时间为0．33秒。其配备的新型CNC6．2控制系统附带有指导箱，不仅可对简单操作进行图形编辑，还可对复杂程序进行文本编辑。