光刻伺服盘媒体微细加工技术

阐述了光刻伺服盘媒体微细加工实验过程，分析了刻蚀工艺影响磁盘光刻图形的不利因素，实践证明利用半导体微细加工技术光刻伺服盘，能大幅度提高磁道密度，增加磁盘驱动器的容量，是一种先进的可行方法。     

影响磁盘光刻图形质量的因素分析

本文叙述了影响光刻伺服图形质量的各种因素，主要可分为磁盘光刻过程中半导体工艺产生的质量误差和机械定位不准产生的伺服图形偏心误差，并提出了消除产生误差的可行措施     

伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计

本文以作者对光刻机刻蚀光头调焦音圈电机的设计的实际经验为例,阐述了两种音圈电机结构的设计原则。并对这两种音圈电机的性能进行了分析。     

光刻伺服盘检测

光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.     

制硝废弃物资源化技术研究和应用

介绍了我公司《日处理1000m^3制硝废水资源综合利用项目》情况。该项目通过新型的盐析工艺。做到对生产元明粉在制硝过程中,把外排废水中的硝、盐进行分离,同时回收废水中的Na2SO4、NaCl,达到制硝废水的零排放,保护了环境,又使废弃物资源得到综合利用。因此,该技术研究与应用,在国内外代表着该领域的技术创新和发展趋势。     

高道密度磁头定位技术的研究

随着光刻伺服磁盘道密度的提高,要求必须具有定位精度高的驱动定位系统相匹配。本文磁头驱动定位系统中采用了电致伸缩陶瓷和压电陶瓷微位移器作二级定位技术,提高了磁头定位精度。     

用激光束预（光）刻磁盘伺服图形的实现

采用激光束预磁盘伺服图形，是研究一切超高道密度磁盘驱动器的新途径。利用激光束具有的强度高，单色好，方向性好，平行度高，功率密度大，相干性好等优点，应用于预刻涂胶的磁盘，能获得高精度的聚焦生成亚微米级斑点的伺服图形，有效地提高了磁盘存储器的道密度。     

光刻机光头调焦音圈电机的结构设计

以对光刻机刻蚀光头调焦时圈电机的设计的实际经验为例,阐述了音圈电机结构的设计原则,设计了两种结构的音圈电机,一种是采用氟塑料套筒,另一种采用滚珠导套。文中对这两种音圈电机的性能进行了分析。实验结果证明,最终选定的音圈电机结构具有良好而稳定的性能。     

微位移定位系统在磁盘光刻伺服图形中的应用

本文叙述了应用微移定位系统实现磁盘光刻伺服图形的精确定位，有效地提高磁盘存储器的道密度，这种方法将成为开发新一代大容量磁盘存储技术，有着良好的发展前景。     

磁盘预光刻伺服图形离子刻蚀分析

用离子溅射对磁盘预光刻的何服图形进行干法刻蚀，得到了微米级和亚微米级凹坑的勾槽图形，这对超高记录密度磁盘驱动器的研究具有重要意义，为提高磁盘记录密度开辟了新途径