微陀螺仪敏感芯片的选择性电铸技术研究

介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经过数次电铸形成MEMS器件敏感芯片的各组成部分,腐蚀掉牺牲层后便得到了所需的敏感芯片。以微机械陀螺仪敏感芯片的制备为例,介绍了选择性电铸技术的工艺流程,进行了工艺流片,所制备的微机械陀螺仪敏感芯片结构完整、侧壁陡直、表面平整。该技术在电容式微加速度计及微机械陀螺仪等多种MEMS器件敏感芯片的制作中有广泛的应用前景。     

九十年代微计算机集成电路技术的现状与发展

本文对九十年代微计算机集成电路技术进行了综述，最后在分析我国微计算机集成电路技术现状的基础上，提出了发展我国微计算机集成电路技术的思考与建议。     

努力打造中国MEMS发展的技术平台

微机电系统（MEMS）是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术，具有多样性、边缘性和综合性的特点，在信息、环境检测、生化分析、自动控制、航空航天和国防等领域有着极为广阔的应用前景，同时MEMS技术又是一种使能技术（enabling technology),MEMS只有在制成装置或在系统中应用后，才能真正体现它的高附加效益并形成现实市场，MEMS技术的进步为相关行业实现跨越式发展提供了机遇。“十五”863计划MEMS重大专项的实施，将会造就一批高水平的人才队伍，逐步建立起中国自己的研发体系；拥有自主知识产权的MEMS技术平台，为“十一五”产业化的形成奠定良好的基础。     

碳基纳米技术

回顾展望了基于π-共轭分子体系的碳基纳米技术的三个重要研究领域:有机半导体体系、石墨烯和碳纳米管,并重点评述了相关的基础科学和技术研究进展.近年来,该领域取得了令人瞩目的发展和成果,对相关材料的结构、性质和性能等基本认识越来越深入,基于碳基纳米技术的器件正在逐渐融入到主流电子产品,在推动微纳电子学科的发展中起到越来越重要的作用.     

多轴微加速度传感器的进展

微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。     

从机电一体化说起……

随着，微电子技术、计算机技术的迅速发展，促进了电子技术、检测技术、自动控制技术、计算机技术、机械技术等多种学科的相互渗透，从而产生了“机电一体化”这一边缘学科。     

微电子技术中常用材料的机械性能

<正> 硅材料是微电子技术的基础材料,近十年来,硅又作为一种机械材料广泛应用于微传感器和微执行器领域。目前已用硅材料(包括多晶硅)研制成了各种微压力传感器、微结构、微夹子、微静电马达、微轴承等。除了在微传感器中的应用之外,上述其     

V型微通道热沉的加工与测试

基于MEMS技术的V型微通道冷却器具有低热阻、低流量,高效率以及体积小等特点,能够对激光二极管阵列和其他高功率密度器件进行快速、高效地散热,成为一种新型的散热方案.介绍了V型微通道热沉的加工工艺,并利用研制的V型微通道热沉样品,模拟热源加载,进行了测试热沉散热性能的试验.通过试验数据得到微通道热沉的面积热阻仅为0.0543 K·cm2/W.     

一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析

提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。通电线圈用来实现器件的姿态转换。对设计的器件进行了电磁仿真分析,验证了器件的双稳态机制,分析表明:铁芯的存在对器件功能有决定性的影响。     

微机械薄膜应力的在线测试结构

微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响，因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法，详细分析了各种方法的特点。对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值。     

Dynamic characterization and modification of dynamic properties of a micro scanner

Micro electro mechanical systems (MEMS) are used in many application areas in different disciplines and took their place among the most promising technologies. The performance of such systems is primarily related to their dynamical characteristics. This study presents the dynamic characterization techniques that are used to identify the modal parameters of a MEMS device and the methods that can be implemented to change its dynamic response. An electrostatic scanner is chosen as the case study to demonstrate the developed methodologies. Initially, the micro scanner is characterized using experimental modal analysis techniques to obtain frequency response function, modal damping, resonance frequencies, and mode shapes. Then, velocity and position feedback control loops are implemented to the scanner system to alter the damping and stiffness characteristics. A closed-loop Simulink model of the scanner is developed to verify the experimental measurements. Several curve fitting methods are used in order to have an accurate representation of the scanner system. Using the model, the influence of both position and velocity feedback on the effective damping, resonance frequency and the transient behavior of the scanner is investigated. The stability limits of the scanner under velocity feedback are also studied via numerical simulations. Based on the experimental and simulation results, the methodology developed in this study proves itself to be very efficient to alter the dynamical characteristics of the MEMS structures and it can be easily adapted to other MEMS applications.     

MEMS技术的现状和发展趋势

MEMS技术是一门新兴的技术 ,近年来 ,越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势     

MEMS技术的现状及发展趋势

主要介绍了MEMS的研究和应用现状 ,分别从市场和技术的角度分析了MEMS的发展趋势。还根据国内研究现状 ,提出了我国发展MEMS的若干设想     

微机电系统的现状与展望

在过去20多年中,微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段,并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域,MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一。对MEMS进行了简要的介绍,包括MEMS应用,MEMS的市场情况,以及3种主要的MEMS微制造技术,即体微制造、面微制造和LIGA技术。最后,提出了MEMS将来研究和发展的趋势。     

电路系统设计中电感式位移传感器的应用

十八世纪六十年代,第一次工业革命在英国发生,第一次工业革命不止是在英国社会工业上的一次变革,更代表着世界科学技术的一次重大变革.科学技术在不断发展,而在科学技术日益发达的当今社会,科学家开创了一个现代科技发达的社会,而传感器则是现代科技的领先者.对众多学科技术有着重大影响的一门高新技术.传感器的种类颇多、而且各类传感器是各具特点,选择的时候应该根据实际测量情况抉择,而设计一种合格的电感式传感器的要求也是很高的,由于各类传感器有着细微上的差别所以顾客购买时还需要注意一些事项.电感式位移传感器的发展迅速,现在广泛应用于各种测量检测仪器上.     

基于嵌入式实时操作系统的动态数显倾角仪

随着计算机技术和MEMS技术的不断发展,嵌入式系统与MEMS技术相结合应用于工业检测领域已经成为了一种趋势。以LPC2220为平台,在嵌入式实时操作系统μC／OS—Ⅱ下开发出了基于MEMS技术的动态数显倾角仪。该倾角仪在具有高精度、高灵敏度的特点的同时配备了数字输出口,可用于测量重力参考系下的倾角或水平。     

单片集成MEMS技术

介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势;分析了单片集成MEMS技术实现的难点,同时,给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程;详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后,给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。     

纤毛式MEMS传感器技术研究

首次综合国内外纤毛式MEMS传感器的研究成果,分别介绍了基于纤毛仿生原理的三维微触觉传感器、三维微力传感器、微声传感器、水流传感器、微几何测量传感器以及矢量水声传感器等。该类型传感器充分地将仿生学和MEMS技术结合起来,具有结构新颖精巧、体积小、功耗低、响应快、温漂小、精度高等优点,为开发具有自主知识产权的新型器件提供了新的思路。     

基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作

提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品,并进行了测试。测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7 fF/mT,且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术,传感器的磁场分辨率可达到36 nT。     

基于MEMS技术的电梯轿厢振动传感网络研究

电梯物联网是物联网技术重要的应用领域,电梯安全事故发生频繁,大多与不良维护密切相关,电梯运行中轿厢的振动幅度、振动方向和振动的时间分布是反映其电梯系统工作状态的重要参数,能对电梯故障进行快速预警,并初步估计故障类型。微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）传感器具有体积小、坚固耐用、成本低廉等特点,随着技术进步,其测量精度和速度也在快速提升,是近年来物联网系统迅速发展的重要动力。研究了基于MEMS技术的轿厢三轴振动实时测量方法,测量带宽大于1 kHz,并基于LoRa技术建立了电梯振动检测无线传感网络,可将联网电梯的轿厢三轴振动信息可靠传达云端服务器,实现了对电梯实时可靠的振动监测与危险预防。