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微器件广泛应用于电子工业。由于衍射效应,微器件的物理边缘与光学边缘不一致,这给检测和测量带来了挑战。为提高微目标检测与测量精度,本文将图像超分辨率重建与目标测量结合,提出了一种基于边缘增强的图像超分辨率重建算法并搭建了对应的测量系统。首先提出了一种新的图像超分辨率重建质量评价参数,证明了图像超分辨率重建提高目标测量精度的可行性。针对目标边缘,将通道注意力机制引入网络,增强了网络对图像边缘的重建能力。最后,设计并搭建了目标测量系统,并进行了实验。结果表明:在公开数据集上,本文算法能取得更高的峰值信噪比(PSNR)和结构相似性(SSIM)等客观指标值;在实际测量中,本文算法可将原有测量系统极限分辨率提高25.9%,目标测量精度平均提高51.6%。本文研究为工业生产中的微目标检测和测量提供了一个潜在的发展方向。 相似文献
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为了在简化计算的同时达到较高的定位精度,提出一种轴向邻域和差边缘检测算法,用于低信噪比、缓慢过渡的微结构显微图像的边缘检测。首先,结合显微图像采集系统的配置,分析了线纹显微图像边缘灰度轮廓特征和基于导数的边缘检测算法的不足。然后,基于方向信息测度,定义了轴向邻域和差运算,依据矩不变理论推导出轴向邻域和差边缘检测算法。实验结果表明:轴向邻域和差边缘检测算法能够适应不同分辨率的显微图像,具有较强的抗噪能力和较高的定位精度,边缘检测效果优于基于导数的算法。该算法用于显微图像时,其边缘坐标定位方差为0.57pixel,微米级线条宽度的测量结果与扫描电子显微镜的测量结果(1.35μm)相差0.17μm,基本满足了测量精度的要求。 相似文献
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高精度角度自动测量系统 总被引:3,自引:0,他引:3
高精度角度自动测量系统采用自准直平行光管将被测角度转换为焦平面上两十字叉丝的相对位移,经CCD摄像机和图像采集卡对叉丝图像采集后进入计算机进行识别和处理,并根据图像的特点采用两次拟合的算法得到高精度的角度值。高精度角度自动测量系统具有测量精度高、自动化程度高、稳定性好、适应性强、可同时进行二维角度测量等特点。系统角度测量分辨率达0-01″,测量精度为0-1″ 相似文献
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视觉检测系统中亚像素边缘检测技术的对比研究 总被引:22,自引:0,他引:22
在视觉检测系统中,亚像素边缘检测的定位精度是其最终测量精度的关键,国内外很多学者对该问题进行了广泛的研究,提出了各种边缘检测的方法,但是各种方法的定位精度及抗噪声能力的优劣都自圆其说,难以验证.也有很多学者对各种算法进行了对比研究,但使用的评价图像与实际系统采集的图像相差甚远.本文根据视觉系统采集图像的原理生成理想图像,使用各种边缘检测算法对该图像进行亚像素边缘定位,以理想点坐标和实际采集的点坐标的均方差作为标准来比较各个算法的定位精度,并定量地加入噪声,分析各处算法的抗噪声能力以及计算时间.分析和讨论的结果为亚像素边缘定位技术的选取提供可靠依据. 相似文献
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激光——CCD厚度检测系统的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文简述了激光三角法的厚度测量原理并设计了测量系统。在信号处理部分采用了一种新的CCD信号边沿提取技术并给出了整个检测系统的框图,分析了影响检测精度的主要因素并提出了解决方法。由本系统实验的最终结果表明,该检测系统有很高的测量分辨率,达到了很高的测量精度及重复性精度。 相似文献
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非合作目标姿态测量的嵌入式算法 总被引:2,自引:0,他引:2
针对一系列含有圆和直线特征的航天器,提出了基于嵌入式算法来实现非合作目标的姿态测量。该算法在现场可编程门阵列(FPGA)中完成边缘点的检测和边缘图像的细化;在数字信号处理器(DSP)中通过基于弧段的快速椭圆检测方法检测目标上的椭圆特征;同时用快速高精度的二次Hough直线检测方法检测目标上的直线特征。最后,针对实际在轨任务进行了地面模拟实验,基于椭圆特征和直线特征计算了目标飞行器和一个CCD相机的相对姿态。结果显示:该嵌入式方法所需资源较少,更新率优于3Hz;其测量精度随着测量距离的变大而变差,同一距离3个方向的测量精度不同,近距离(小于4m)、深度方向的测量精度优于100mm,其他方向最高优于60mm,角度精度优于1°,满足嵌入式系统对资源、在轨更新率和精度的要求。 相似文献
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异形回转零件的一种图像测量研究 总被引:2,自引:0,他引:2
讨论了利用线阵CCD图像测量方法。配备Z、Y二维运动工作台及绕Z轴回转数显工作台,对异形回转体三维轮廓尺寸进行检测,用Mar边缘检测算子对CCD获得的原始灰度图像进行处理,采取最小二乘法完成曲线拟合,以获得亚像元分辨率。在对Φ200mm异形回转体零件进行尺寸测量时,测量系统的分辨率达到微米级的水平。 相似文献
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利用数字图像处理技术测量直齿圆柱齿轮几何尺寸 总被引:27,自引:6,他引:21
研究了采用数字图像处理技术实现对直齿圆柱齿轮几何尺寸的非接触式测量.首先对CCD摄像机拍摄的图像进行畸变校正与滤波去噪,然后对图像进行阈值分割,采用基于数学形态法的四邻域腐蚀来获得单像素宽的图像边缘.针对齿轮的边缘轮廓形状特征,运用重心法、最小二乘拟合、Bresenham画圆法和Hough变换等原理,建立了测量齿轮齿数、模数、中心孔半径、齿顶圆半径、齿根圆半径和变位系数等齿轮几何尺寸参数的测量算法.使用1280×1024的CCD摄像机及黑白采集卡对分度圆直径为50mm的直齿圆柱齿轮进行测量实验,与人工测量值对比,绝对误差小于一个像素,在各测量参数中,最大尺寸的齿顶圆半径绝对误差值为13μm.研究结果表明:因为CCD摄像设备的分辨率越高、被测物体的尺寸越小,则测量精度越高,且为线性关系,所以,使用高分辨率CCD摄像设备并配备光学放大系统,可实现对高精度和微小直齿圆柱齿轮几何尺寸参数的测量.如使用1280×1024像素以上的CCD摄像设备测量分度圆直径5mm以下的直齿圆柱齿轮时,测量精度可在2μm以下. 相似文献
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