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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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现任德州仪器(TI)DSP业务发展经理、负责利用DSP技术在TI内部开创新的业务的Gene Frantz(中文名:方进),除了上述寻常的职称,他还拥有一个很特别的头衔--首席战略科学家.这可是不容小觑的身份,在TI为数众多的技术人员中,仅有不到千分之一的人有幸获此殊荣.方进由于对奠定TI在全球DSP领先基础上贡献卓越,于1997年被授予此称号. 相似文献
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早前有所谓“Five Flowers”的说法,意谓着中国有望如旭日东升的五大自有标准:TD-SCDMA、WAPI、EVD、AVS,以及中国数字电视的DMB-TH。究竟,中国的DMB-TH能否率先绽放? 相似文献