铝诱导晶化法低温制备多晶硅薄膜

为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温（＜６００℃）制备高质量多晶硅薄膜已成为研究热点．本文研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺：金属诱导非晶硅薄膜低温晶化法．在非晶硅薄膜上蒸镀金属铝薄膜,并光刻形成铝膜图形,而后于氮气保护中退火．利用光学显微镜和拉曼光谱等测试方法,研究了Ａｌ诱导下非晶硅薄膜的晶化过程,结果表明;在５６０℃退火６ｈ后;铝膜下的非晶硅已完全晶化,确定了所制备的是多晶硅薄膜．初步探讨了非晶硅薄膜金属诱导横向晶化机理．     

晶化前后有源层的刻蚀对poly—Si TFT性能的影响

在普通玻璃衬底上低温（600度以下）制备poly-Si TFT有源矩阵液晶显示器是当前的研究热点,采用金属诱导横向晶化法低温研制了poly-Si TFT。分析了晶化前后有源层的刻蚀有poly-Si TFT性能的影响。     

实现多晶硅薄膜等离子氢化的新工艺

根据多晶硅薄膜氢化的微观机理,提出改进氢化效果的工艺方法,在不增加设备投资的情况下,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果,从而提高薄膜晶体管的性能,ＩＯＮ／ＩＯＦＦ从１０＾３量级,氢化工艺的处理时间也相应缩短。     

多晶硅薄膜的新型激光晶体制备方法

采用两步激光晶化方法制备了多晶硅薄膜,其晶粒尺寸为１．１μｍ,比用传统单步晶化制备的薄膜晶粒尺寸大,表明该方法法对扩大晶粒尺寸很有效。拉曼光谱分析表明０．３０Ｊ／ｃｍ＾２晶化的薄膜结晶程度已很高。     

多晶硅薄膜的新型激光晶化制备方法

采用两步激光晶化方法制备了多晶硅薄膜 ,其晶粒尺寸为 1.1μm,比用传统单步晶化制备的薄膜晶粒尺寸大 ,表明该方法对扩大晶粒尺寸很有效。拉曼光谱分析表明 0 .30 J/ cm2晶化的薄膜结晶程度已很高     

多晶硅薄膜的等离子氢化新工艺

根据多晶硅薄膜氢化的微观机理,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果,从而提高薄膜晶体管的性能,ＩＯＮ／ＩＯＦＦ从１０＾３量级增加到１０＾５量级,氢化工艺的处理时间也相应缩短。     

聚烯烃弹性体接枝共聚产物/SAN树脂共混物的耐老化性能研究

EPDM-g-SAN/SAN树脂、EPDM-g-MAN/SAN树脂和EPM-g-MAN/SAN树脂三种共混物的老化性能研究表明,三种共混物的耐气候老化和耐热氧老化性能都优于ABS;EPDM-g-SAN/SAN树脂和EPDM-g-MAN/SAN树脂两种共混物的人工模拟气候老化机理和热氧老化机理主要都是共混物的大分子发生-CH_2-脱氢、脱氰基、脱苯环和羟基先生成后脱掉的反应。     

武冈市娱乐场所消防安全专项治理效果明显

8月2日至20日,武冈市政府部署全市开展了公共文化娱乐场所消防安全专项治理活动。近年来,武冈市的歌舞厅,娱乐城,影视厅等公共娱乐场所发展很快,在消防安全方面存在的问题日趋严重,火险隐患十分突出,对此,市政府决定开展一次专项治理活动。副市长高同德同志任领导小组组长,政府办付主任廖勤俭同志任付组长,建委、公安、工商、文     

抓六个落实 结安全硕果

武冈市商业局管辖12个公司、厂、店(场),现有干部职工2200多人,有大小门店、车间162个,商品仓储面积16594平方米,生产和营业用房23754平方米,安全防火工作点多、面广、线长,困难大,任务重。局领导为确保国家财产和广大职工的生命安全,积极贯彻“预防为主,防消结合”的方针,坚持把消防安全工作与生产、营销同等对待,狠抓了六个“落实”,实现了全系统连续五年无火警火灾的好形势。     

S0l—Gel法制备BST铁电薄膜及其性能分析

用SoI—Gel法制备出表面致密，界面清晰的BST铁电薄膜。分析了BST薄膜的J-V特性，由于使用了不同的上下电极，导致J—V曲线的不对称，且在外延生长的Pt电极上制备的BST薄膜有较低的漏电流。分别在大气和干燥气氛下测量了BST薄膜的介电特性，分析结果表明：湿度对BST薄膜的介电特性有很大的影响,为了得到正确的介电特性，其测量必须在真空或干燥气氛下进行。