谐振法确定热激励微梁谐振器厚度及残余应变

精确测量热激励微梁(悬臂梁和桥)谐振器的厚度和残余应变对研究其谐振特性具有重要意义。由于组成谐振器的薄膜厚度远小于占优层厚度，本文首先利用单层梁谐振频率推算得梁的厚度的近似值，从而得到热激励梁的等效杨氏模量和等效密度。在此基础上利用双层梁谐振频率精确推算梁的厚度和残余应变，结果与测量值符合较好。该方法具有非破坏性的优点。     

基于MSP430F149电机保护算法的实现

依据电流为判据，将电机保护分解为过流、负序和零序保护3大类，由此构成的综合保护可基本覆盖电动机的所有常见故障类型。最后提出了电机数字式综合保护算法，采用超低功耗DSP单片机MSP430F149实现电动机故障的监测。     

纳米管状聚苯胺金属镀覆及抗电磁波性能

利用碳纳米管-纳米管状聚苯胺复合材料，进行化学无电金属镀层。经过采用Ni、Cu和Ni—Cu复合镀层工艺试验对比，形成了纳米金属镀层复合物。通过SEM观察发现纳米结构的金属颗粒在聚苯胺分子的表面形成了均匀分布和稳定的结合，利用TG、XRD等一系列实验分析表明镀层材料具有良好的金属-纳米管状聚苯胺晶体共轭结构。通过压片法，利用波导管进行抗电磁波性能分析，电磁波的屏蔽效应达到了40dB，证明该材料在电磁屏蔽及相关电子、传感器等技术应用中，将具有良好的应用前景。     

IGCT器件的计算机模拟

对IGCT器件的主体GCT部分进行了工艺模拟，包括一维模拟与二维模拟，对工艺流程进行了优化设计，最后得到了理想的纵向杂质分布及网络划分，并对模拟和设计的有关问题进行了分析总结。     

硅锥场发射阴极电热状态的数值模拟

用有限差分法求解相互耦合的电流连续方程和导热方程 ,对硅锥阴极的电热状态进行了数值模拟。模拟中采用了与温度、电场相关电导率模型以及和温度相关的热导率模型。模拟的结果表明 ,锥体顶端的电位变化比较突出 ,在较小的电流下其内部电场即可以达到临界场强 ,使载流子漂移速度开始饱和 ,并表现出饱和的发射特性。在尖锥顶端内部电场达到临界场强直至发生碰撞电离时 ,温升不显著     

宽度与取向变化的干涉条纹计数技术研究

干涉计量以它的高精度在生产实践中越来越被人们所重视。而所遇到的问题之一是干涉条纹(或莫尔条纹)的宽度和取向不一致,即有随机变化。例如平板玻璃厚度检测的干涉条纹就是如此。这使传统的电子学频率     

真空微电子二极管及微位移传感器的研究

首次用电荷模拟法计算了真空微电子二极管及真空微电子微位移传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,进而计算了真空微电子二极管的电流一电压特性和微位移传感器的电流——位移(即阴、阳极间距)的关系曲线。模拟了两种结构的场致发射阴极:圆锥形和劈形。并用测试精度可达4nm 的水槽法模拟实验对计算结果进行了验证,理论计算与实验结果符合地很好。     

新颖的IGBT SPICE模型及非破坏参数提取和验证

提出并优化了一种和现有SPICE软件如HSPICE完全兼容的IGBT等效电路模型.该模型摒弃了双极晶体管的所谓准静态假设而用精确的双极输运理论进行分析,更符合IGBT的实际工作条件.利用电压控制可变电阻模型等效IGBT的n-外延层的电导调制效应,取得了很好的效果.基于器件的非破坏实测参数以器件物理方程为基础的模型参数提取,计算依据正确,物理意义明确.用该模型计算了IGBT的I-V特性、开关特性等,与实测符合较好,误差不超过8%,此结果比已报道的同类模型要好,且更为简单方便.     

小波变换式数字倾斜度测试仪的研究

论述倾斜度测试仪的测量原理，提出在导电液体槽中制造两个圆柱形电阻管，这样可以把圆柱形电阻管液面高度的变化量线性地转换成圆柱形电阻管电阻的变化量．此测试仪具有4个特点：①由于采用了小波变换技术，所以，抗干扰能力强；②传感器及测量电路的设计简单；③传感器的输入与输出具有良好的线性度；④由于采用差动电桥的方式，所以，抗共模干扰能力强(如温度影响)．     

超长钨丝阵列锐化的研究

本文报告了玻璃介质钨丝阵列场发射阴极欧姆接触的三种制造方法，以及场发射尖端阵列的锐化工艺—提拉法和倒提拉法。同时给出了锐化结果的电镜照片。