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介绍了2-1.67/150型、3Z3-1.67/150型氧压机在维修过程中,根据三块压力表的指示情况来判断氧压机的故障部位。以单一故障和综合故障情况列表指出了压力表情况和事故原因。 相似文献
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本文研究了在SF6,CBrF3和CHF3与氧相混合的几种氟化气体等离子体中,SiC薄膜反应离子刻蚀(RIE)的深度。通过监测射频等离子体的光发射谱及产生等离子体的直流偏压来研究刻蚀机理,为了更精确地定量分析刻蚀工艺,使用氩光能测定技术使等离子发射强度转换为相应的等离子物质浓度。为获得选择性的SiC-Si刻蚀及SiC薄膜的各向异性图形,对等离子体条件,如气体混合物的构成,压力和功率进行了研究。首次采 相似文献
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介绍了转炉安全留渣操作的热力学、动力学条件及国内外安全留渣操作的实践经验、冶金效果,对攀钢转炉采用留渣法操作的可行性进行了分析,提出了采用留渣操作的建议方案。 相似文献
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