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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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生物光声成像(Photoacoustic Imaging,PAI)是一种新型的无创复合功能成像方法.生物组织不均匀的声学特性会使超声波在组织界面处发生反射,导致重建图像中存在伪影和失真,降低图像质量和成像深度.文中综述了目前抑制PAI声反射伪影的主要方法,包括延迟相减法、基于杂波去相关理论的方法、短滞后空间相干法、基于深度学习的方法、光声引导聚焦超声法、基于超声平面波模型的方法和多波长激励的方法等,详细介绍各方法的原理,分析其优势和不足,并展望未来的研究趋势. 相似文献
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运用傅里叶变换衰减全反射红外光谱法(ATR-FTIR)中的单次反射法对水性偏氯乙烯-丙烯酸酯共聚物薄膜进行辅助定性研究,考察了具有不同偏氯乙烯单体含量的共聚物薄膜的红外谱图变化。同时运用单次反射ATR-FTIR法对施工现场取回的红色脱落涂膜进行定性分析。 相似文献
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刘铭杉 《机械制造与自动化》2020,49(5):177-179,183
为测试一种理论上满足高承载、高效率、高精度、小尺寸性能要求的短杯谐波减速器的实际性能,设计了精密短杯谐波减速器性能测试控制系统,试验系统主要包括:机械结构部分、硬件架构、软件模块。经调试运行,该试验系统可以成功测试短杯谐波减速器的传动效率、极限承载性能、温升等性能参数。通过将理论计算结果与实际试验结果对比,该测试系统的测试结果具有较大参考价值。 相似文献
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海上平台独立电网存在容量小、调节能力差、整体电能质量差、电网不稳定等问题,而变频器会产生严重的电网谐波污染,使电能的生产、传输和利用效率降低,导致电气设备过热、产生振动和噪声,并使绝缘老化,使用寿命缩短,甚至发生故障或烧毁。为了降低谐波对设备和系统的影响,提出了主动治理谐波的主要措施。 相似文献