传感器与固体电子学中非线性函数多项式拟合的规范化

多项式可用于非线性信号的拟合,关键在于求解其各项系数。对于任何非线性函数,文中提出都有一个规范化的拟合方法。相应有一个规范化的多项式。该规范化多项式是以整数n为底的幂级数,最大幂次nmax是x坐标区间的等分数,其系数可用一个规范化的矩阵积得到。我们给出了固体电子学中的两个应用实例。当x坐标区间分段拟合应用时,还讨论了函数及其导数计算值的连续性条件,并以正弦函数不同区间的展开为例,作了演示。     

TiO2薄膜制备及其氧敏特性

采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜，在不同温度下对薄膜进行退火，研究了薄膜晶体结构随退火温度的转化情况．对TiO2薄膜氧敏器件特性进行了测试，结果表明，在400℃下灵敏度随氧分压增加最快，并且在400℃具有最高的灵敏度．得到的激活能为0.41eV，并对TiO2薄膜氧敏器件的氧敏可逆性进行了讨论．     

四探针电阻率微区测量改进的Rymaszewski法厚度修正

为了解决四探针技术在微区测量中不能测试较厚样品的问题，提出了一种厚度修正方法该方法基于镜像源理论，以样品的上下边界为镜面，反复镜像电流源得到无限系列镜像源．将这些镜像源所产生的电位对测试点的影响进行叠加，推导出利用改进的Rymaszewski方形四探针法进行电阻率测量时的厚度修正公式，又利用规范化拟合法得到了多项式．修正后的结果反映了样品的真实电阻率，实验结果验证了该修正公式的正确性，从而完善了改进的Rymaszewski方形四探针的微区测量方法，使该方法能够应用到实际的测量中，提高了其实用性．     

微区薄层电阻测试方法的研究

对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述，特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析，对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。     

利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演

薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法.应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数,而已知的范德堡公式是隐函数,只见报道其显函数的近似表达式,精度低,未见到有精确的多项式拟合公式.为此,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式,其精度可达到±0 19% ,并给出该公式在实际薄层电阻测试中的应用     

无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

研制出检测U L SI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形10 0 m m样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.     

半导体材料与器件九十年代最新进展

本文分别从单晶的尺寸、质量、新型器件、微加工及其集成度和性能几方面报导半导体材料与器件九十年代的世界水平。     

弹性钢环力传感器及其电路系统研究与应用

本文介绍由弹性钢环制成的应变式力传感器的设计及其制作工艺，特别是经过热处理后弹性的改善。针对应变力传感器的灵敏度小的特点设计相应电路，降低了放大器的共模输入电压并改进了共模抑止比，大大改进了正比特性。此传感器已应用于疲劳试验。     

斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术

介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法,将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试,并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论.应用此测试方法得到了75mm的全片电阻率分布的mapping图,测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性,是一种行之有效的测量方法.     

基于BP神经网络温度补偿的压力传感器无线数据采集系统

介绍了一种多路智能压力传感器数据采集电路的设计方法,采用BP神经网络算法对其实现温度的软件补偿。该算法有效改善了传感器的非线性及温度变化所引起的输出的误差,提高了测量精确性和可靠性。通过无线收发模块PTR2000实现了数据的无线传输。该系统可以在一些特殊的场所实现信号的采集、处理和发送、接收,并具有成本低、可靠性好、实用性强等优点。