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矿质混合料的组成设计方法很多,有试算法、正规方程法、图解法等。由于正规方程法解算繁琐,常用的是试算法和图解法。主要介绍正规方程法的矩阵解法,可供同行借鉴。 相似文献
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集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求,其中,如何低温条件(≤150℃)下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题。本文利用等离子体增强原子层沉积技术,以脒基铜为铜前驱体,以氢等离子体为还原物质,在较低的沉积温度(100℃)下,沉积了纯度高、导电性能优良的铜薄膜。在10∶1的硅基沟槽中,表面与沟槽底部厚度均匀(~80 nm)。考察了放电输入功率对薄膜形貌的影响并利用时间分辨发射光谱技术对氢等离子体进行在线诊断。本论文研究表明铜脒基前驱体用于低温等离子体辅助原子层沉积工艺,可有效地解决铜薄膜沉积过程中铜粒子的团聚问题,并为其它类脒基前驱体进行金属薄膜的沉积提供借鉴。 相似文献
25.
原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种原子级表面沉积技术,由于其较高的反应活性以及较低的沉积温度日益受到研究者的关注。本文介绍了PEALD技术的基本原理以及相对于其他薄膜沉积技术的优势,之后从前驱体和基底材料的影响等方面介绍了利用PEALD制备Ti、Co、Ni、Cu、Ru、Pd、Ag、Ta、Ir和Pt等过渡金属薄膜以及它们在微电子领域的应用现状,最后进行了总结和展望。 相似文献
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介绍了软岩大型凹陷露天矿新水平开拓的基本方法及改进措施。说明了神华国能宝清煤电化有限公司露天矿基建期开拓的实施情况。利用基坑延深及以水仓为中心四周扩帮的开拓新方法,解决目前疏干排水困难、影响开拓延深的问题,改进的新开拓方法具有施工简便、经济合理、效率高的特点。 相似文献
28.
近年来,对于我国桥梁的施工建设,其虽起步比较晚,但其发展迅速,已经取得了一定成绩。但是依旧不可否认的是,在具体的桥梁施工及其管理过程中,依旧存在着较多的问题,这些问题的存在已经威胁到工人的正常生产、和公司企业的正常运行,甚至威胁到了国家的发展。基于此,本文就将对桥梁施工项目管理要点进行分析探讨。 相似文献
29.
按国家科学技术部《关于编制科技发展“十·五”计划和2015年远景规划工作的通知》精神,国家建材局于1999年6月8日~10日在北京中国建筑材料科学研究院召开了建材工业科技发展“十·五”计划和2015年远景规划初稿研讨会,讨论、确定建材工业科技发展“十·五”计划和2015年远景规划初稿。参加会议的有产、学、研等30个单位,共计95位代表。国家建材局企事业改革司周利兆处长主持了8日上午的大会。国家建材局蒋明域副局长就如何编制建材工业科技发展“十·五”计划和2015年远景规划做了指示,国家建材局企事业改革司王媛俐副司长传达了国家… 相似文献
30.
采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在射频大气压氦气-氮气混合气体中获得稳定的六边形斑图。实验发现,随着功率的增加,放电丝数量增加,六边形斑图面积扩大到整个电极。使用IC-CD高速相机对六边形斑图的外加电压的一个周期进行拍照,发现发光强度和外加射频源的电压周期内有明显的关联性,说明空间电荷可能在斑图的形成中起主要作用。 相似文献