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射频磁控溅射制备SiO2膜 总被引:1,自引:0,他引:1
利用石英靶射频磁控溅射制备SiO2膜的工艺,采用L型阻抗匹配网络,并计算得到了等离子体的等效电容及等效电导。指出射频功率密度是最重要的沉积参数,靶面自偏压及SiO2膜沉积速度均随功率密度的增加而线性增加。 相似文献
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设计并研制成功了实用型5GHz带宽InGaAs/InP PIN光电探测器,介绍了限制探测器响应速度的主要因素,微波封装的理论依据,以及所研制器件频率响应的测试结果。 相似文献
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针对无线电能传输过程中传输效率随匹配阻抗大小变化的特点,提出两种阻抗匹配的方法:一种是基于步进电动机通过检测网络反馈信号,控制网络通过GA神经网络算法控制步进电动机,改变电容实现阻抗匹配;另一种是基于直直变换器中Cuk电路的占空比大小来匹配阻抗的方法.在负载和线圈之间嵌入单相桥式整流电路和Cuk升降压变压器实现匹配.根据最大传输功率理论,定量分析了改变电路的阻抗值大小,使系统的传输功率及效率最大.在MATLAB/Simulink平台验证了两种阻抗匹配设计方案的有效性.结果 表明,利用基于步进电动机和Cuk电路的阻抗匹配方法可以实现最佳阻抗值匹配,使无线电能传输效率最大化. 相似文献
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随着对微波单片集成电路(MMIC)愈发严苛的尺寸限制和集成度要求,越来越多的MMIC芯片如限幅器、射频开关等同时具有平衡和非平衡的不同测试焊盘结构,需采用平衡-非平衡混合射频探针进行在片测试,而基于单一平衡或非平衡结构的直通在片校准件无法同时满足混合射频探针的阻抗匹配要求,导致校准精度大幅下降,无法用于MMIC在片测试.为此,本文对采用传统SOLR校准方式的平衡-非平衡混合射频探针测试的校准误差进行了评估计算,并结合带误差修正的OSL二阶去嵌技术和级联矩阵变换技术,提出一种基于平衡-非平衡混合射频探针的MMIC在片测试方法,同时搭建了以矢量网络分析仪、SG与GSG射频探针、微波探针台等组成的在片测试系统来验证方案可行性.通过矢量修正和级联矩阵去嵌,将校准参考平面精确平移至探针尖端面,有效地保证了测试精度,并且结合C#面向对象语言为该测试方案构建了自动测试系统,实现了仪器控制、数据采集、结果修正、数据分析等全自动操作,避免了人为干预的影响,解决了晶圆级测试面临的效率问题. 相似文献
80.
采用多直流模块级联的分布式电源,在新能源发电、网络能源、航空航天等中低压直流系统中获得了广泛应用。针对多级串联型级联系统,提出一种利用各个子模块在理想电压输入下的输出阻抗和空载电压输出下的输入阻抗,计算出整个级联系统开环传递函数的方法,绘制阻抗匹配条件Nyquist曲线,构建出适用于多直流模块级联系统的广义稳定性判据,并提出输出电流反馈优化级联系统的输出阻抗策略,获得了可以改善级联系统稳定性的增强控制方法。通过仿真和实验,验证了稳定性判据条件和改善稳定性策略的有效性、准确性和可行性。 相似文献