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负偏压在电弧离子镀沉积TiN/TiCN多层薄膜中的作用 总被引:3,自引:0,他引:3
用电弧离子镀方法在高速钢、不锈钢与铜基体上沉积合成Ti/TiCN多层薄膜,在其他参数不变的情况下只改变负偏压,着重考察不同负偏压下薄膜的沉积深度、膜基结合强度、显微硬度以及表面形貌等,研究基体负偏压在沉积多层薄膜中所起的作用。结果表明,负偏压影响沉积温度,负偏压值越大,温度越高;负偏压值增大,表面形貌中的大颗粒数量减少,薄膜质量得到改善;负偏压在-300V左右时,膜基结合强度与硬度出现对应最佳性能点的峰值。 相似文献
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利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数 总被引:2,自引:1,他引:1
本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断.双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏.利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动.探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题.实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显.另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电.这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义. 相似文献
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基于目前油气田企业用能系统能效评价存在界限不清晰、评价方法不完善的问题,通过重点用能系统能耗构成及用能评价现状的分析,结合相关现行标准,建立了一套界限清晰、用于合理表征油气田企业重点用能系统用能水平的能效指标体系,涵盖3个层级16项指标,确定各项指标的测试和计算方法,并提出基于矩阵运算的能效加权综合评价方法,用于进行系统能效水平的纵向、横向对比。以塔里木油田6个站场系统为例,将目前常用的评价方法与提出的综合方法进行效果对比,验证该套指标体系及能效加权综合评价方法能够更加合理地反映相应系统的能效水平,并为后续节能改进措施的提出及相关节能工作开展提供依据。通过应用效果分析,发现现行标准中存在指标限值划分不细致、无法覆盖所有典型工况等问题,进而提出标准后续待修订完善的方向,以保证标准的合理性、适用性和先进性,有效促进相关节能管理工作的持续改进和提升。 相似文献
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不锈钢双极板电弧离子镀Cr1-xNx薄膜改性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用电弧离子镀方法在质子交换膜燃料电池(PEMFC)不锈钢双极板表面沉积一系列Cr_(1-x)N_x(x=0.28—0.50)改性薄膜,对薄膜的成分、相组成以及改性双极板的导电、耐蚀等性能进行了分析测试.结果表明,双极板的导电与耐蚀性能因沉积Cr_(1-x)N_x薄膜而显著提高,并且与薄膜的成分和相组成密切相关:当x值从0.28增加到0.50,薄膜由Cr+Cr_2N转变为Cr_2N,再转变为Cr_2N+CrN,最终变为CrN;当薄膜由单相组成时,双极板既导电又耐蚀、综合性能最好,与原始不锈钢相比,导电性能提高2个数量级以上,而耐蚀性能提高近3个数量级. 相似文献
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