应变多量子阱DFB激光器有源区的优化设计

利用一个简单模型对1.55μm波长In1-x-yGayAlxAs MQW DFB激光器的阱数和腔长进行了优化,模拟得到了最高工作温度达550～560K,张弛振荡频率在30GHz以上的低阈值MQW DFB.     

半导体相移分布反馈激光器模式及调制相应特性的研究--牛顿-矢量方法的应用

给出了适于分析DFB激光器稳态特性的数值模型和分析振幅及频率调制响应特性的解析模型.研究了3相移DFB激光器的调制响应特性,并提出了一种能够快速精确得到DFB激光器多个模式解的新方法--矢量牛顿法.该方法将稳定的矢量法与精确的牛顿法结合,保证了求解质量.实践表明该方法非常适合于求解高度非线性方程的多解问题.用此方法,研究了3相移及简单DFB激光器的纵向光子浓度分布,纵模及调制响应特性.结果表明,3相移DFB具有与简单的DFB激光器同样好的调制响应特性,相移的引入在一定程度上抑制了纵向空间烧孔效应,并且有利于DFB激光器的单模输出.     

半导体相移分布反馈激光器模式及调制相应特性的研究--牛顿-矢量方法的应用

给出了适于分析DFB激光器稳态特性的数值模型和分析振幅及频率调制响应特性的解析模型.研究了3相移DFB激光器的调制响应特性,并提出了一种能够快速精确得到DFB激光器多个模式解的新方法--矢量牛顿法.该方法将稳定的矢量法与精确的牛顿法结合,保证了求解质量.实践表明该方法非常适合于求解高度非线性方程的多解问题.用此方法,研究了3相移及简单DFB激光器的纵向光子浓度分布,纵模及调制响应特性.结果表明,3相移DFB具有与简单的DFB激光器同样好的调制响应特性,相移的引入在一定程度上抑制了纵向空间烧孔效应,并且有利于DFB激光器的单模输出.     

应变多量子阱DFB激光器有源区的优化设计

利用一个简单模型对 1.5 5μm波长 In1 - x - y Gay Alx As MQW DFB激光器的阱数和腔长进行了优化 ,模拟得到了最高工作温度达 5 5 0～ 5 6 0 K,张弛振荡频率在 30 GHz以上的低阈值 MQW DFB.     

MOCVD热力学分析软件的开发

报导了最新开发的ＭＯＣＶＤ热力学分析软件－ＭＯＣＶＤＴＡ，它是一个采用目前比较 ＶＣＳ算法对ＭＯＣＶＤ的稳态系统进行单参数及双参数分析的软件。介绍了其功能，特点，使用方法以及适用条件，并且以Ａｓ－Ｈ系统及Ｇａ－Ａｓ－Ｃ－Ｈ系统为例进行了模拟，得到了很好的模拟结果。     

分布反馈半导体激光器电路模型

以周期波导结构的合模方程及载流子密度速率方程为基础，在适当的假定条件下，本文得到一个比较简单的适于无内部相移的折射率耦合单模分布反馈半导体激光器电路模型，用本模型得到的模拟结果与报道的结果符合很好。     

体硅MOEMS阵列光开关的制作

设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成.上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列.具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点.对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题.     

MOEMS光开关动力学过程分析

采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果．对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果．本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程．通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的．     

集成光波导器件的计算机辅助设计软件的开发

报导了最新开发的集成光波导器件的计算机辅助设计软件─—IOCAD2，它是一个采用复折射率矢量束传播分析方法的三维模拟分析软件。本文介绍了它的功能、特点、使用方法以及适用条件，并且以SLD直条形波导吸收区为例进行了模拟，得到了很好的模拟结果。     

利用(110)硅片制作体硅微光开关的工艺研究

采用基于湿法腐蚀工艺的体硅微机械加工方法,利用(110)硅片结晶学特性,通过光刻、反应离子刻蚀和湿法刻蚀等工艺,在硅片上同时制作出微光开关的微反射镜结构、悬臂梁结构、扭臂梁结构和光纤定位槽结构,器件的一致性好,制作工艺简单.利用扇形定位区域,精确地沿(110)硅片的{111}面进行定向腐蚀,可使微反射镜镜面垂直度达到90±0.3°,经测量表面粗糙度低于6nm.